 |
 |
 直径仅100mm 高度不超过125mm |
|
| 空间复合多轴运动重复性±2μm/±5μrad |
|
| 克服了多层叠加系统的总运动定位精度低、找位困难、运动误差累加和稳定性差的问题 |
|
| 可自由设定旋转中心 |
|
| 适合光电精密装配、微操作等多种应用 |
|
|
|
 |
|
|
 |
| 计量级精度/2nm闭环最小运动量/30mm范围 |
|
| 尺寸仅为120mm×65mm×20mm |
|
| 采用PIOne 0.5nm分辨率光栅系统全闭环 |
|
| 可选真空和超高真空型号 |
|
| 克服了气浮系统的平面和侧向振动 |
|
|
|
|
|
|
 |
| 超小径跳 超小摆角 0.00002度有效分辨率 |
|
| 计量级超精密转台 双向重复性±0.0005度 |
|
| 径跳±0.07μm 平面度±0.05μm 摆角±1.25μrad 最大负载40kg |
|
| 气浮轴承导向，力矩电机驱动 |
|
| 同系列转台直径从100mm到270mm |
|
|
|
|
|
|
 |
| ±25nm双向重复精度（1nm分辨率光栅尺） |
|
| 直线电机驱动 最高速度600mm/s |
|
| 高平面度 高直线度 低跳动 低摆角 |
|
| 同系列运动范围从52mm到305mm |
|
| 克服了气浮系统的平面和侧向振动 |
|
|
|
|
|
|
 |
| 满振幅摆动频率至1kHz 分辨率至0.01角秒 |
|
| θxθy运动 摆动范围最大为10mrad(0.5度) |
|
| 毫秒级响应时间 重复精度最高0.03角秒 |
|
| 可根据用户的不同需求进行定制 |
|
| 大量用于光学追踪、扫描、稳像等应用 |
|
|
|
|
|
|
 |
| 专为生物显微设计 兼容主流倒/正置显微镜 |
|
| 可直接加载标准载玻片和培养皿 |
|
| XY和XYZ两个版本 各向运动范围200微米 |
|
| 20mm超薄 倒置系统仅占用4mm物镜工作距离 |
|
| 配套高稳定性XY手动台可无需转接直接安装于Olympus/Nikon/Zeiss/Leica显微系统 |
|
|
|
|
|
|
 |
| 4nm最小步长 2nm分辨率 100mm超大行程 |
|
| 20kg最大负载 50mm/s最大速度 |
|
| 独有的电机-压电混合驱动 单光栅尺全闭环 |
|
| 超高精度 单向重复性10nm |
|
| 主要用于计量/精密测量/半导体设备等领域 |
|
|
|
|
|
|
 |
| XYZ三维运动 各向范围从100微米至300微米 |
|
| 高精度电容位置传感器反馈 高分辨 无漂移 |
|
| 压纳米分辨率 纳米重复性 线性度达0.01% |
|
| 最大负载5kg 有高速高动态型号 |
|
| 有高真空和超高真空型号 可根据要求定制 |
|
|
|
|
|
|
 |
| 20mm行程 0.03nm分辨率 60kg推力 |
|
| 高刚性 断电完全自锁 抗振动 |
|
| 闭环型号内置纳米分辨光栅尺反馈 |
|
| 有高真空、超高真空、无磁耐磁型号 |
|
| 用于半导体设备/光学制造/科研等领域 |
|
|
|
|
|
|
 |
| 双载物面设计 可做X平台和Z平台使用 |
|
| 高精度电容位置传感器反馈 高分辨 无漂移 |
|
| 行程12微米/25微米/38微米三个版本 |
|
| 自振频率可达5kHz 往复频率可到1kHz以上 |
|
| 用于移相/光学调制/精密测量或通用纳米台 |
|
|
|
|
|
