应用领域
半导体, LCD & 平板显示 (测试, 制造 & 检验)
应用
PI 解决方案
典型 PI 产品
CD 测量
掩模对准
目标对准
光刻
XYZ θxθyθz 压电纳米定位平台,
压电纳米位移促动器
P-500
P-750
P-734
用户定制平台
硅片检测与测量
链接
链接
光学相干
压电纳米位移促动器
P-753
P-752
导线压焊/粘接
压电双片位移器, 盘型平移器
PL-xx
P-288
亚纳米测量
高精度电容位移传感器
D-100
镜头测试
Hexapod 6D 微定位系统
六自由度并联机构
M-850
F-206
大行程纳米对准
大行程压电位移促动器
P-239
P-783
P-587
光束扫描与对准
光路校正
光束偏转系统 (主动光学)
S-340
用户定制高分辨率系统
S-334大行程扫描器
主动减震
压电堆位移促动器 & 压电堆陶瓷材料
P-246
P-247
用户定制压电陶瓷元件
高分辨显微
链接
链接
硅片垂直定位
Z向压电位移台 (用户定制产品)
P-500
用户定制平台
P-587
大行程定位
平移台, 旋转台
M-500
IntelliStagesTM一体化平移台
M-038
M-062
*尊敬的用户: 对于您的应用, 可能会有其他的PI标准或定制产品更加适合. 我们非常希望您能将您的具体技术要求告诉我们, 欢迎您致电 021-68790008 或 email:
info@pi-china.cn
再次感谢您对PI产品的关注！
