PI

功能和性能

在多个生产基地,PI都具有在无尘室条件下进行产品制造和质量鉴定的能力。这种能力还在根据市场需求不断拓展和提高。

根据不同位置的工艺流程,PI或其合作伙伴能按照规定清洁每个位置的零件和产品,然后检查清洁结果,确认是否存在颗粒污染并在必要时确认有无其他类型的污染。

经校准的颗粒测量装置使PI能按照ISO 14644-1的规范监控无尘室的质量。

PI还可测量操作条件下其自身产品产生的颗粒的数量。

标准

自2001年起,无尘室的分类不再执行US FED STD 209E,取而代之的是ISO 14644-1。以下表格中列出的有些无尘室的分类同时基于两种标准。

 

无尘室等级符合ISO14644-1标准

每立方米的颗粒数

等级0.1微米0.2微米0.3微米0.5微米1.0微米5.0微米
ISO 5100,00023,70010,2003,520832 
ISO 61,000,000237,000102,00035,2008,320293
ISO 7   352,00083,2002,930
ISO 8   3,520,000832,000 

 

无尘室等级符合美国FED STD 209E标准

每立方米颗粒数

等级0.2微米0.3微米0.5微米5.0微米
10026,486105,9943531 
1,000  35,315247
10,000  353,1472,472
100,000  3,531,47024,720

可用无尘室/超洁净作业场所

除了无尘室,PI还拥有安装在无尘室内部或外部的超洁净作业场所。与各自的环境相比,它们的目的在于进一步减少特定工艺流程步骤中的颗粒污染。

以下概览按照位置列出了现有和筹建设施。

PI Karlsruhe

PI Karlsruhe是PI集团最大的生产和研发基地。主要工作范围包括对基于压电陶瓷的定位系统、六足位移台和磁力驱动器领域中的标准及定制产品的装配和质量鉴定。包括来料检测在内的所有大规模生产区域均为ISO 8级无尘室。

此外,PI Karlsruhe还拥有一间新建的ISO 5级无尘室,该无尘室额外考虑了适用于EUV应用的所有标准。此外,特殊产品分形还具有符合ISO 7级的无尘室以及符合ISO 5级的超洁净作业场所。开发部门拥有符合ISO 7级的实验室。

无尘室等级可用空间,单位为平方米
ISO 5250
ISO 6 - 
ISO 7600
ISO 83,000

PI KA的无尘室



PI Ceramic,莱德罗塞

从流延成型开始的用于多层生产的整个工艺链都是在PI Ceramic的符合ISO 6、7和8级的无尘室中完成的。建筑构件产品部门的压电促动器和传感器的装配过程也始终是在ISO 7级或8级无尘室中完成的。根据工艺要求,ISO 7至9级无尘室可用于进一步选定的工艺,如溅射、丝印和分配。

无尘室等级可用空间,单位为平方米
ISO 6310
ISO 7720
ISO 8620
ISO 9340

PI Ceramic的无尘室,包括无尘室扩建(将于2020年第三季度完工)

PI miCos,德国埃斯克巴克

包括来料检测在内的所有PI miCos装配区域均为ISO 8级无尘室。有些无尘室还包含符合ISO 5级的超洁净车间。工程系统也拥有符合ISO 7级的无尘室。

无尘室等级可用空间,单位为平方米
ISO 510
ISO 6 - 
ISO 760
ISO 8650

PI miCos的无尘室

PI USA,霍普金顿

PI USA的生产区域具有ISO 8级的装配岛,可在无尘室条件下实现测量、清洁和包装。