PI无尘室中的制造

功能和性能

在多个生产基地,PI都具有在无尘室条件下进行产品制造和质量鉴定的能力。这种能力还在根据市场需求不断拓展和提高。

根据不同位置的工艺流程,PI或其合作伙伴能按照规定清洁每个位置的零件和产品,然后检查清洁结果,确认是否存在颗粒污染并在必要时确认有无其他类型的污染。

经校准的颗粒测量装置使PI能按照ISO 14644-1的规范监控无尘室的质量。

PI还可测量操作条件下其自身产品产生的颗粒的数量。

标准

自2001年起,无尘室的分类不再执行US FED STD 209E,取而代之的是ISO 14644-1。以下表格中列出的有些无尘室的分类同时基于两种标准。

 

基于ISO14644-1的无尘室分类

每m³的颗粒数

Class0.1 µm0.2 µm0.3 µm0.5 µm1.0 µm5.0 µm
ISO 5100,00023,70010,2003,520832
ISO 61,000,000237,000102,00035,2008,320293
ISO 7352,00083,2002,930
ISO 83,520,000832,000

 

基于US FED STD 209E的无尘室分类

每m3的颗粒数

Class0.2 µm0.3 µm0.5 µm5.0 µm
10026,486105,9943,531
1,00035,315247
10,000353,1472,472
100,0003,531,47024,720

 

 


可用无尘室/超洁净作业场所

除了无尘室,PI还拥有安装在无尘室内部或外部的超洁净作业场所。与各自的环境相比,它们的目的在于进一步减少特定工艺流程步骤中的颗粒污染。

以下概览按照位置列出了现有和筹建设施。

PI在德国卡尔斯鲁厄

PI Karlsruhe是PI集团最大的生产和研发基地,主要工作范围包括对基于压电陶瓷的定位系统和六足位移台领域中的标准及定制产品的装配和质量鉴定。包括来料检测在内的批量生产的各个区域都是符合ISO 8级的无尘室,有些无尘室还包含符合ISO 5级的超洁净作业场所。特殊产品分形具有符合ISO 7级和ISO 8级的无尘室以及符合ISO 5级的超洁净作业场所。符合ISO 6级的生产无尘室目前正在筹建。研发部门拥有符合ISO 7级的实验室。

PI Ceramic,德国莱德罗塞

从流延成型开始的用于多层生产的整个工艺链都是在PI Ceramic的7级无尘室中完成的。压电陶瓷部件和传感器的装配过程也是在7级或8级无尘室中完成的。根据工艺流程要求,ISO 7至9级无尘室可用于进一步的工艺流程,如溅射、丝印和分配。

PI miCos,德国埃斯克巴克

包括来料检测在内的所有装配区域都是符合ISO 8级的无尘室,有些无尘室还包含符合ISO 5级的超洁净作业场所。工程系统也拥有符合ISO 7级的无尘室。

PI USA,霍普金顿

PI USA的生产区域具有ISO 8级的装配岛,可在无尘室条件下实现测量、清洁和包装。

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白皮书:PI(Physik Instrumente)无尘室中的制造

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