PI测量技术

针对标准、定制和OEM产品而实施

标准产品的测量技术细节

在相应的生产分形阶段进行检验及最终验收测试。PI利用可校准并可溯至规范的测量设备检验其产品。

 

  • PI利用主要制造商的高分辨率干涉仪进行精确的路径和长度测量,精度在几纳米内。 
  • 使用自准直仪、测斜仪、增量式旋转编码器或干涉仪进行角度测量,具体取决于角度范围。 
  • 针对特定生产线单独设计寿命和负载测试并在适当环境中执行相应测试。 
  • 在隔振式蜂窝桌台上进行精密测量。根据相应产品线的要求调整测量环境和设置。 

PI开发了自己的测量技术,其采用PIOne增量编码器电容传感器。该传感器技术主要安装在PI产品中,但同时也用于生产和检验装置的测量设备。 

纳米测量实验室

纳米测量技术对稳定性和精确度有着极高要求。

 

  • 对于必须确保位置稳定性长达数小时且测量在纳米级以下的长期测量而言,测量在具有稳定环境的特殊房间内进行。
  • 检测实验室具有抗震、隔电磁和隔热效能,能够确保温度稳定性,24小时以上温度变化不超过0.25 °C。这使得测量精度高达皮米级的精确测量成为可能,同时也为纳米定位产品的测量定立了标准。

根据客户需求执行测量

  • 位置精度通常记录在运动平台上。还可以在由应用(例如,针对突出负载)定义的任意点对其进行测试。调整测试设备以用于此目的。
  • 借助负载能力为5吨的提升和倾斜设备,可以以应用特定的对准和负载对任意角度的定位系统进行检验。了解更多
  • 各种不同触发选项允许同步进行数据记录,例如,同时使用多台干涉仪
  • 提供各种测量位置,用于在特殊环境条件下进行检验: 
  • 用于在低至77°K(液氮)条件下测量的冷冻室
  • 干燥室(手套箱等)
  • 真空达10-11 hPa 了解更多

[Translate to Chinese:] Special Measuring Equipment

[Translate to Chinese:]

  • A measuring location according to the capacitive measuring principle is available for measuring wobble and eccentricity.
  • PI has several white light interferometers for measuring the surface topology in material research.
  • 3-D coordinate measuring machines and a 6-D laser tracker can be used for qualifying multi-axis systems, e.g., hexapods.
  • High dynamics scanning vibrometers measure the motion characteristics of piezo elements during operation. This serves to check the displacement models and verify the desired excitation states.
  • Vibrometers measure the velocity and vibration properties of positioning systems to max. 25 kHz.

测量报告和日志

对于PI,每一项测量和检验都是保证质量的手段。这确保了所有出厂的定位系统均符合保证的规格。所有测量均使用可检验的外部测量设备诸如高分辨率干涉仪进行。 

每一个产品的检验数据均是可验证的。测量数据被编译到数据库中并用于过程控制。对于大规模生产运营而言,产品层面的可追溯性尤令人瞩目。 

许多系统诸如六足位移台或压电系统都提供有测量日志。因此,客户可以在调度系统前通过测量的数据对系统性能进行验证,同时查看哪些系统组件属于一个整体。 


测量技术中的标准和规范

PI产品的检验基于以下标准:

 

  • DIN ISO 230-2

机床检验通则 第2部分:数控机床轴线的定位精度和重复定位精度的确定

  • VDI/DGQ 3441

机床运行精度和定位精度的统计测试方法

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白皮书:PI是怎么测量的 - 第I部分

测量环境/测量设备系列/数据评价
版本/日期
WP4011E 2018-04
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WP40111D 2018-04
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白皮书:PI(Physik Instrumente)无尘室中的制造

功能和性能
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WP4008
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WP4008
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