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六足位移台采用并联运动设计,具有诸多优势,是这一用途的最佳之选。与串联设计(即堆叠系统)相比,六足位移台在路径精度、可重复性和平整度方面优势明显。此外,其移动质量更低,因此在所有运动轴上都具有更好的动态性能。再者,这款系统无需移动电缆,使企业摆脱了电缆管理的困扰,而且结构更加紧凑。为了针对预定运动进行高精度的动态补偿,PI提供的六足位移台可以借助压电式驱动器实现纳米级的可重复性。其共振频率达到1 kHz,可以保证快速完成位置控制。节省空间的并联运动设计降低了整体高度。这意味着,六足位移台可以集成到设备中,用以补偿其导向误差或实现正确运动。压电陶瓷驱动器没有磨损,而且可在强磁场或高真空环境中运行。