六足位移台实现运动补偿

六足位移台采用并联运动设计，具有诸多优势，是这一用途的最佳之选。与串联设计（即堆叠系统）相比，六足位移台在路径精度、可重复性和平整度方面优势明显。此外，其移动质量更低，因此在所有运动轴上都具有更好的动态性能。再者，这款系统无需移动电缆，使企业摆脱了电缆管理的困扰，而且结构更加紧凑。为了针对预定运动进行高精度的动态补偿，PI提供的六足位移台可以借助压电式驱动器实现纳米级的可重复性。其共振频率达到1 kHz，可以保证快速完成位置控制。节省空间的并联运动设计降低了整体高度。这意味着，六足位移台可以集成到设备中，用以补偿其导向误差或实现正确运动。压电陶瓷驱动器没有磨损，而且可在强磁场或高真空环境中运行。