分辨率无可匹敌的X-射线扫描显微镜

PETRA III 处的硬X-射线微米/纳米探针光束线P06采用不同的X-射线技术提供先进的可视化和微米/纳米级空间分辨率。在纳米探针台内,应用ptychographic扫描方案的相干衍射成像可实现空间分辨率降至低纳米级的X-射线显微术。由于PETRA光源的超强亮度,空间分辨率仅10纳米的测量目前已可实现。

X-射线扫描 - 定位检测器时不允许存在误差

为了使用X-射线扫描显微镜实现如此高的分辨率,所有单个定位任务的执行必须采用最佳的可用元器件。例如,定位检测器时,大行程XYZ底座必不可少。此三轴系统的顶部运载着一个大型转台,可选择不同的检测器供特定的X-射线技术使用,这也是需要将振动影响和倾斜误差降至最小的原因。

PI miCos设计和交付XYZ平台,平台由花岗岩制成,可确保均匀度和长期稳定性,且可免受振动等环境影响。平台可提供2000毫米 × 1000毫米 × 100毫米的线性位移,而总位置偏差小于14微米。允许螺距误差在2000毫米的全行程范围内被限制为50微弧度。任意方向上的位置重复精度为±1微米。现场调试和启动操作均由PI miCos完成。

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