高真空中的样本操纵器

采用同步光束进行脉冲激光沉积(PLD)原位表征

ANKA同步辐射装置(卡尔斯鲁厄,德国)的NANO光束线中,同步辐射的X-射线衍射和反射可用于研究薄膜在真空条件下的结构属性,这也是现代材料研究的一部分。

为了在光束线中直接使用,开发了一体化系统,其中脉冲激光用于将固体靶材带到气相中,然后使其沉积作为衬底上的一层。光束线PLD系统的特点是激光加热(可将衬底加热至1200摄氏度)以及简便加载。一个特殊特征是:由于样本操纵器的尺寸小,即使衬底高度较低,也可实现X-射线的较宽角度范围。

样本操纵器中的六足位移台

在样本操纵器中,由PI设计的用于高真空的六足位移台可相对于入射X-射线定位样本,即10 毫米 × 10 毫米的衬底,使样本可以0.001度的分辨率绕X和Y轴倾斜±5度。此外,为了补偿层厚度差,它可沿Z 轴(即垂直于样本表面的方向)进行移动,最大移动量为3毫米。同时,系统沿X和Y轴方向的移动量可达 ±6毫米,从而可以扫描到 样本表面的不同位置。六足位移台固定在转台上,需要时可执行进一步的定位任务。

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