材料研究、加工及表面测量技术

效率已经成为当今社会的重要流行语。材料研究为此做出了巨大贡献,包括优化加工方法等在内的一大批研究成果应运而生。纳米级表面检查同样也为生产效率的提高做出了宝贵的贡献。X射线和激光以及白光干涉测量等方法都需要精准定位待测样本以及精准的光学元件或光束控制。

白光干涉测量中的纳米精度驱动解决方案
用于表面检查(结构健康监测)的压电技术
纳米压痕技术中的精密扫描