压电陶瓷驱动器在激光束控制中的应用

激光器是一种广泛应用于众多领域的工具。激光束的精确定位始终起着至关重要的作用。同时,激光束的偏转和聚焦还要求驱动系统具有卓越的动态性和稳定性,并且结构紧凑。基于这些要求,压电定位系统是非常理想的选择。

卓越的动态性与精度

基于压电效应的促动器具有亚纳米级的运动分辨率,响应时间小于一毫秒,因此可以实现扫描频率高达一千赫兹的动态操作。此类促动器无需维护,静态工作状态下无能耗。

材料加工和激光扫描的高精度解决方案

在电子元件生产等领域使用的偏摆镜系统和压电陶瓷扫描平台中,并联运动定位系统采用压电陶瓷驱动器。系统中仅有一个具有共用枢轴点的运动平台。与两个单轴系统来回切换的模式(通常用于振镜扫描器等场合)相比,这种系统可实现更高的精度。
在超分辨率显微镜中同样如此。 相比传统驱动器,偏摆平台的无摩擦压电驱动器和柔性铰链支持更高的加速度,在位置受控的操作中,可在高达3°的偏摆角范围内实现高于100 Hz的扫描频率。

陶瓷PILine®超声波电机为激光束控制技术带来了更多值得研究的可能性。这种电机具有转速和加速度极高、结构紧凑等特点。采用专利的驱动原理,可在静止状态时实现自锁。

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成功案例:材料处理中的激光束偏移,激光扫描显微镜和眼科

压电驱动元件及其可能性
成功案例 pi1100E
成功案例 pi1100E
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