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在实现激光束控制的过程中,压电驱动式偏摆镜系统不仅能提供所需精度,而且可实现高加速度及超过100 Hz的高动态带宽。系统具有紧凑的结构,即使空间狭小,也可轻松集成到更高级别的系统中。系统可实现高达6°的光学偏角,具有极快的响应速度(反射镜响应时间为10 ms至1 ms)以及纳米弧度级的位置分辨率。 在多运动轴偏摆镜系统中,并联运动定位系统采用压电陶瓷驱动器。不同于串联系统,并联系统仅采用一个带有公共枢轴点的运动平台。系统中集成了高分辨率位置传感器,可确保在整个行程范围内实现优于0.25%的线性度,并且典型重复性达到5 µrad。