3-D表面检测

高分辨率照相系统与白光干涉测量法完美结合

借助高度发达的非接触式无损工艺,可以实时分析许多不同材料的表面轮廓和粗糙度,分辨率高达微微米级别。这一过程需要结合使用高分辨率照相系统和白光干涉测量法。

为保证分析的有效性,并将独立的测量结果组合成有意义的图像,必须确保镜头能够快速而精确地定位。

镜头位置必须与单个图像准确匹配,这样才能从源头上确保实现高精度的3-D表面检测。

显微镜换镜旋座定位系统

压电定位系统是显微镜换镜旋座定位的绝佳选择:定位系统可直接集成到显微镜中,负责移动整个显微镜换镜旋座,从而以极高精度沿Z轴方向顺序移动各个镜头。定位系统在工作过程中不会产生磨损、摩擦和空回。此外,系统还能以高达10 g的加速度实现加速,非常适合实时3-D表面测量所必需的高频率工作环境。

高聚焦稳定性

高精度、无空回的柔性铰链导向装置可确保高稳定性,有助实现纳米级精度的运动。用于传递力和运动的柔性铰链导向装置不会产生磨损。 电容式传感器用于在运动中精准测量位置。它们可以在无物理接触的情况下直接测量机械系统中运动的部件(直接计量),不会因摩擦或滞后而影响测量。除了亚纳米级的位置分辨率外,这种方法还能提供非常好的线性度。

下载

pdf
pdf

成功案例:快速、高精度3D表面检查

压电陶瓷促动器定位目标
成功案例pi1073E
成功案例pi1073E
pdf - 423 KB
pdf - 472 KB