高真空环境中薄膜生长的原位研究

在同步辐射源中,辐射的X光反射和衍射可用于研究薄膜在形成过程中的结构属性。要对样品进行精密定位,并联运动六足位移台具有最佳的条件。

样品操纵器中的六足位移台

在紧凑型PLD系统(脉冲激光沉积系统)中,设计用于高真空环境的六足位移台相对于入射X射线进行样品定位,使样品以0.001°的分辨率绕X和Y轴倾斜±5°。 此外,为了补偿薄膜层的厚度差,可以沿Z轴(即垂直于样品表面的方向)进行移动,最大移动量为3mm。同时,系统沿X和Y轴方向的移动量可达±6mm,从而可以扫描到样品表面的不同位置。对于一个直径130mm的小型六足位移台而言,其高度仅为115mm。

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成功案例:在粒子加速器中验证和测试的六足位移台

在真空室中应用超薄层
成功案例pi1118
成功案例pi1118
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