半导体技术

随着光刻工艺的发展,如今的芯片变得越来越小,硅晶片上也出现了极为精细的结构。原子力显微镜(AFM)可实现原子级的高分辨率表面测量,为半导体制造领域带来了全新的检测方法。压电陶瓷驱动器凭借出众的性能及可靠性为这些技术进步做出了贡献。

光刻镜头的镜头定位
3-D光刻工艺的纳米定位系统