原子力显微镜(AFM)的精准扫描

原子力显微镜(AFM)可实现最高分辨率的表面测量,其测量分辨率甚至可达原子级。这种显微镜可以进入光学显微镜无法解析的维度。新型AFM系统甚至可以对步进标准片进行可追溯测量,用以设定其他AFM。

 

压电陶瓷定位系统

六轴压电陶瓷定位系统是此类扫描应用的理想选择,其在三个线性轴方向的设计行程范围为12µm。三个旋转轴可补偿寄生偏移。定位精度可达到0.1 nm甚至更高。由于AFM用于定量测量,因此再现性和绝对精度都非常重要。

高谐振频率与数字控制

这种高定位精度还得益于总体系统超过1.4 kHz (载荷为300g时)的高谐振频率,这使得测量不受外界声波干扰的影响。数字式压电陶瓷控制器将对各个轴加以控制,并且可以完成内(电容式)外(干涉测量)两种实际值捕获模式的切换。

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成功案例:半导体和阶梯标准的高精度和可追踪AFM测量

亚纳米级分辨率定位
成功案例 pi1110
成功案例 pi1110
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