发光器件的表征

快速主动对准

光学相干断层扫描(OCT)典型应用的重点是眼科医学领域。然而如今,OCT也被考虑用于工业环境中的应用,例如印刷电路板(PCB)层诊断和材料表面分析。现代OCT解决方案需要具有高光谱带宽和长相干长度的光源。超发光二极管(SLED)和扫频激光源(SLS)均为需要满足日益苛刻的客户需求的光源。因此,SLED和SLS变得越来越昂贵,这意味着在完成将SLED和SLS封装到蝶形封装中的下一步骤之前,必须进行质量检查以节约成本。

采用PI的快速多通道光子学对准(FMPA)系统,可实现快速同步的实时测试。自动区域扫描允许进行快速可靠的高分辨率发射剖面分析。此外,智能梯度搜索算法可以跟踪任何品质因数的最优位置,例如数小时的光强度。这两种算法是在许多PI控制器上运行的FMPA解决方案的核心。借助所有长度尺度上的各种定位系统,PI可以找到用于光源质量控制的完美解决方案。

对准解决方案的主要特点

已经验证且屡获殊荣的技术
表征时间减少99%
通过调整到最优品质因数来减少系统误差
长时间工艺步骤期间的可靠跟踪
可扩展性实现了晶圆厂级测试
最低的拥有成本
优化任何品质因数

XYZ/θX θY θZ – 以亚微米级精度自动对准光纤

  • 并联运动六足位移台,可在六个自由度上实现长行程快速对准
  • 高刚性机械设计提供高动态性和短稳定时间
  • 可自由定义的旋转中心解决了几何偏移量
  • 位置传感器可确保高精度和运行可靠性
  • 紧凑型设计,节省集成空间
    >> H-811.I2 6轴小型六足位移台
    >> F-712单面光纤对准系统

XYZ轴 – 以纳米级精度自动对准光纤

  • 用于快速扫描运动的并联运动压电系统
  • 高刚性机械设计提供快速扫描运动和跟踪
  • 零游隙柔性铰链导向可实现高导向精度而不会产生任何磨损或颗粒
  • 集成传感器提供出色的运动线性度、长期稳定性和高达100赫兹的扫描频率
  • 全瓷绝缘压电陶瓷促动器,具有超长的使用寿命
    >> P-616 NanoCube纳米级定位器
    >> F-712单面光纤对准系统

θZ轴 – 可靠且可扩展地放置光学元件

  • 高精度且可重复的360度旋转,无空回
  • 磁性直接驱动器可实现高速度和加速度
  • 无铁芯线性电机提供平稳和精密的操作而不会产生齿槽效应
  • 低外形设计,节省集成空间
    >> V-610紧凑型PIMag转台

用户友好且灵活的自动化控制

  • EtherCAT接口可快速集成到具有高处理能力的工业系统中
  • 高性能工业控制器以毫秒级响应速度自动执行内置扫描和优化
  • 基于用于首束光检测的快速区域扫描算法和用于峰值耦合的梯度搜索算法,专有固件可实现光纤的快速对准
  • 为在所有常见操作系统(如Windows、Linux和MacOS)上以及用多种常见编程语言(包括MATLAB、Python、C#和NI LabVIEW)的快速应用程序开发提供软件支持
  • 使用PI MicroMove软件,可快速启动且易于使用
    >> C-887六足位移台运动控制器
    >> E-712数字式压电控制器

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