- 产品 - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

具有压电电机的N-565线性平台系列

高达52 mm行程的高精度                          

PI在N-565线性平台系列中使用压电步进驱动器。驱动原理在单一紧凑单元内实现了几纳米、高导向精度和高力的重复性。线性平台因此实现了重要的定位要求,例如,显微镜的探头、光学或机械元件、半导体行业、激光设置或真空应用。

紧凑和纳米级精度

平台具有65 mm宽度,高度仅有20 mm,工作行程为13、26或52 mm。根据行程的不同,长度分别为80、110和160 mm。对于位置控制测量系统,PI使用基于集成Mach Zehnder干涉仪的内部开发光学线性编码器。测量原理可实现0.5 nm分辨率和2 nm的最小位移。

压电驱动器具有自锁功能;如果目标位置已达到或系统关闭,定位单元将保持位置,没有电流和热量生成。定位平台的保持力为10N,最大速度是10 mm/s。高导向精度通过带强制导向的交叉滚子轴承实现。

完美匹配:网络控制器和软件

线性平台可通过紧凑型E-861控制器便捷操作,支持不同类型的压电陶瓷步进驱动器运动类型,可调整至其力学要求。由于其网络能力,其可使用单一计算机接口同时控制多达16个控制器。所有参数可通过软件设置和检查。对于启动和系统配置,PIMikroMove程序包含在交付范围内,可通过LabView驱动和DLL连接至客户软件。

数据表:具有高精度的N-565线性定位器

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