- 产品 - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

具有集成线性编码器的音圈直接驱动

用于扫描应用的高动态线性平台                                        

磁性直接驱动器与经典电机的基于主轴的解决方案相比具有优势,特别是对于磨损和动态性。由于直接驱动很大程度上免除了传动系上的运动部件,摩擦和晃动较少,因此更精准。同时,成本更低,能量效率更高。此外,其杰出的特点包括相对较大的行程、更高的速度,以及更长的驱动器使用寿命。对于高速工业扫描应用在线性平台的情况,PI (Physik Instrumente)作为驱动器技术和定位系统的解决方案供应商,因此使用了磁性直接驱动器。

有了PIMag® V-522、V-524和V-528后,现在有个新的超线性平台,可达到250 mm/s的最高速度和10 Hz的扫描频率。无摩擦驱动器驱动器行程为5、10或20 mm,特别适用于需要24/7运作的工业和实验室应用,例如,计量学、光学、图像稳定系统,以及在半导体和平板检测。

由于其交叉滚子导轨,线性平台可达到1 µm的行程。也可有效防止笼蠕变(抗蠕变)。线性平台通过单一电缆连接至控制器,电缆中中包括电源、编码器信号。这能够确保简便又节省空间地集成进入客户系统。集成的直接测量光学现行编码器可实现可靠的位置控制和±500 nm的可重复性。

传感器分辨率低于10nm;最小位移是20 nm。根据版本的不同,音圈直接驱动器系列具有5、10或20 mm的行程,同时仅有80 mm的宽度和26 mm的高度。如有需要,也可不使用隔板将线性平台与多轴系统相结合。在PIMag®标准多轴解决方案基础上,PI能够提供定制单轴和多轴解决方案,可在力、精度和足迹方面完美适用于应用。

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