- 产品 - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

高精度、速度的空气轴承平面扫描仪

  来自PI (Physik Instrumente)具有无摩擦空气轴承的A-322 XY定位系统可实现高达1 nm的分辨率和1000 mm/s的速度                        

这使得平面扫描仪适用于检查系统,例如,需要高精度和吞吐量,需要在洁净室条件下工作。

通过柔性铰链将横梁耦合至下轴可提供符合规定的偏转角,且不会牺牲系统刚度。无铁芯直线电机提供流畅的运动,且无齿槽转矩或吸引力。


PIglide平面扫描仪配有三个高精度线性编码器:一个用于低轴、两个用于高轴。增量和绝对编码器选项均可用。


A-322通过来自先进制造商的数字控制器操作。例如,提供先进的控制算法,以提高动态性能和制导误差补偿,以及大量的软件开发工具的选择。

数据表:A-322 PIglideTM HS空气轴承平台

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新闻报道资料包 - A-322

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