- 产品 - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

高动态、长行程并具有重力补偿功能的新型垂直定位系统。对中心传感器进行光学聚焦、扫描或高度调整。

从基因组测序到多光子荧光显微镜、深层组织检查、激光材料加工和晶圆检验,再到研究中的磁性镊子……显微镜学和工业中的众多应用中均需要具有长行程、高动态和高精度的垂直定位系统。现在,PI凭借全新的V 308音圈PIFOC,提供可满足所有这些要求的基于磁性直接驱动器的解决方案。

V-308 PIFOC的核心元件是一个单轴滑块,其基体上装有高精度横向交叉滚柱导轨。该滑块由专为实现高动态而开发的居中PIMag音圈电机驱动。用户可以通过可调硬挡块来限制7毫米长行程的上下两个方向。加速度高达8米/平方秒,最大速度为200毫米/秒。这使得±15纳米误差带内的100纳米和250纳米步长的步进和稳定时间低于15毫秒。因此,可以实现聚焦单元非常快速的定位、非常快速的数据采集和高生产率。

高分辨率光学PIOne线性编码器用于实现所要求的高精度。可以实现10纳米的最小位移和25纳米的双向重复精度(在100纳米行程下)。

磁重力补偿

磁重力补偿是新型V-308 PIFOC的一项独特功能。这确保了滑块和装好的负载会在无电源的情况下悬浮,因此可以防止在断电或关闭控制器时发生失控的坠毁事故。为了灵活地使用该轴(例如切换物镜时),用户可以调整反作用力并补偿高达1千克的总负载(物镜和支架)。因此即使垂直使用,该轴也可以用作水平轴。

紧凑的设计和多功能的配件,易于集成

驱动器尺寸为87 x 77 x 30毫米(高/宽/深),结构非常紧凑。接装板可确保以公制或英制安装孔布局安装在光学工作台或板上。提供两种不同的物镜支架(分别用于垂直或水平安装)以及一组用于不同直径物镜的转接环(规格高达M32 x 0.75)。

作为标配,V-308 PIFOC装有专门开发的C-414控制器。此外,也可以使用具有内置EtherCAT功能的ACS控制器来操作该轴。用户可以主动控制伺服控制参数(“增益调度”),再加上诸如ServoBoost之类的其他ACS功能,可进一步提高性能。

PI简介

PI (Physik Instrumente)总部位于卡尔斯鲁厄,是半导体工业、生命科学、光子学和工业自动化领域中高精度定位技术和压电应用的市场与技术佼佼者。在与全球各地客户的密切合作中,PI的专家们(约1300名)50年来不断地在技术上寻求可行的突破并开发定制解决方案和标准化解决方案。本公司的已批及待批专利超过350项,因此彰显了其创新地位。PI在欧洲、北美和亚洲拥有七个生产基地以及15个销售与服务办事处。