- 产品 - Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

长期稳定性高的定位系统

高达六自由度的部件和样本的精确对准 在半导体工业或光子学应用中,部件在每个单独的处理步骤中通常都需要被精确定位,然后被可靠地保持在一个稳定的位置上。同样地,这种情况也适用于X射线检查中的样本。PI (Physik Instrumente)目前可利用SpaceFab Q-845为这些应用以及类似应用提供实用的解决方案。

极其精确的并联运动定位系统不仅可以纳米级精度六自由度定位重达1公斤的负载,还能将负载保持在一个长期稳定的位置。其基础组成是六个线性平台,分别布置在作用于一个运动平台的三个90度偏移的双层上。这使得其能在X和Y向上达到±7毫米的最大行程,Z向上达到±5毫米的最大行程。三条旋转轴的旋转范围为±7度(θXY)或±8度(θZ)。压电惯性驱动为线性平台的驱动力。由于其静止状态下的保持力矩,保持在目标位置上时不消耗能量,无热量产生。这意味着定位系统也可使用于真空中的应用(真空兼容
达10-6 百帕)。

在任何空间布置中均可安装

长期稳定定位系统可安装于任何空间布置中。带预载的万向接头和线性轴承的质量使得"倒置"或"侧悬"应用中的性能相同。构造可适应于各种载荷状况,其他客户要求也可在短时间内被满足。C-886多轴控制器被建议用来进行控制,其能被简单集成至系统中,且在PIMikroMove软件的帮助下可实现用户友好型控制。相应的软件模块可用于与外部应用的集成,如Matlab、NI LabView等。如果需要,控制器可通过附加卡为两条附加轴控制驱动器。

更多信息,请参见:

Q-845 Q-Motion® SpaceFAB

PI简介

PI (Physik Instrumente)是全球精密定位技术市场领先者,以其优质产品而享誉世界。在使用压电或电机驱动器的标准及OEM产品的开发和制造方面,PI拥有40年的历史。PI集团遍布全球,除了在德国设有四个基地之外,在全球还设立了十五个销售和服务分部。

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新闻报道资料包 - Q-845

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