用于创建微米级微小几何形状的加工平台需使用运动系统,以便在多个维度上提供一致、准确和动态的加工。由于制造部件的尺寸和质量可能具有挑战性并且在加工过程中可能会形成颗粒,因此所使用的系统部件需要具有高精密度、刚性、鲁棒性并且能提供可靠的性能。