工业光学检验

灵活的配置 – 快速的步进和稳定 – 纳米级的分辨率

光学检验是工业质量保证中一道必不可少的工序。在工业环境中使用的光学检验系统应提供可靠且可重复的测量结果并实现高吞吐率。这同样适用于工件、样本或试样的移动以及成像光学器件的定位。所使用的定位系统必须具有灵活性,以便沿不同的行程移动平面中的样本以及 沿垂直方向移动光学元件。

定位解决方案的主要特点

灵活的配置
高重复精度和纳米级精度
高分辨率位置传感器
采用自动聚焦算法进行测量
聚焦于不同的焦平面
凭借PIMag电机灵活适应所需的性能特性
通过工业EtherCAT接口轻松集成到自动化环境中

成像光学器件的定位

  • 由磁力柱塞线圈驱动器所带来的高扫描速度与快速步进和稳定
  • 可调节重量补偿,适用于灵活的透镜质量
  • 高分辨率直接测量位置传感器
  • 得益于PIMag音圈电机,可灵活调整驱动力和尺寸

样本定位

  • 由磁力线性电机所带来的高扫描速度
  • 串联轴组合可在样品级或集成XY位移平台上灵活配置行程,从而实现节省空间的设计
  • 得益于PIMag线性电机,可灵活调整驱动力和尺寸
  • 高分辨率直接测量位置传感器
    >> V-508 PIMag精密线性平台

运动控制

  • 可选配的工业EtherCAT接口
  • 数字控制采用优化的控制算法,可实现恒定的扫描速度、高重复精度与快速步进和稳定
  • 快速传感器信号处理,可同时实现高速度和高分辨率
  • 可选模拟输入,适用于外部控制信号

系统运行中


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