E-536.3C
PicoCube 压电式控制器，3个通道，电容传感器 ，
E-536 PicoCube压电陶瓷控制器
在多达三轴内具有高动态和高分辨率
- 用于P-363PicoCube系统
- 峰值功率3×100瓦
- 噪声特别小
- 变体：高动态和高分辨率
- 输出电压±250伏
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E-536.3x：各种压电负载的操作限制，电容值的单位为微法
E-536.3xH：各种压电负载的操作限制，电容值的单位为微法
由超高分辨率外部电容式传感器测量的位置显示带E-536.3x的P-363的分辨率低于0.05纳米（开环）
E-536 PicoCube压电陶瓷控制器
产品描述
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两种变体中的PicoCube控制器
E-536PicoCube控制器具有三个超低噪声放大器通道，用于高压切变促动器。控制器特别设计用于满足超快速和高分辨率PicoCubeXY(Z)压电陶瓷扫描器的要求。E-536提供两种变体，用于-250至+250伏的电压范围，允许在静态和动态应用中使用。E-536.3x具有最优性能，适用于特别动态的应用，可在仅10千赫兹的小信号带宽内输出200毫安的峰值电流。E-536.3xH型号变体的分辨率已经过优化，在高达50瓦的峰值功率时可实现PicoCube低于0.03纳米的位置分辨率。两种变体均可用于闭环和开环操作。
高动态和最高分辨率
开环操作特别适用于响应时间短、分辨率特别高的应用。绝对值形式的位置反馈规格要么不重要，要么是通过外部传感器实现，如同原子力显微镜中的情况。P-363PicoCube可实现0.05纳米或更佳的分辨率。
电容式传感器带来更高精度
E-536.3C版本具有集成式传感器/伺服控制器，用于闭环操作。位置是通过配备电容式传感器的PicoCube纳米定位系统等来实现的，传感器可达到0.1纳米的分辨率。
计算机控制
供选配的E-518接口模块可通过数字PC接口实现控制和位置控制。
应用领域
- 扫描探针显微镜
- 原子力显微镜
- 扫描和筛选
规格
规格
其他 | E-536.3C / E-536.30 | E-536.3CH / E-536.30H |
|---|---|---|
工作温度范围 | 5至50摄氏度（40 摄氏度以上，功率下降） | 5至50摄氏度（40 摄氏度以上，功率下降） |
过热保护 | 温度传感器自动断开高压连接（最高为75摄氏度） | 温度传感器自动断开高压连接（最高为75摄氏度） |
质量 | 8.1千克 / 7.8千克（E-517模块） | 8.1千克 / 7.8千克（E-517模块） |
尺寸 | 450 毫米 × 132 毫米 × 296 毫米 +手柄 | 450 毫米 × 132 毫米 × 296 毫米 +手柄 |
工作电压 | 115伏交流电/50-60赫兹或230伏交流电/50-60赫兹 | 115伏交流电/50-60赫兹或230伏交流电/50-60赫兹 |
*仅带电容传感器的E-536.3Cx
**通信接口：RS-232、TCP/IP和USB（可选配E-517计算机接口/显示模块）
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数据表
文件
文件
Technical Note A000T0074
Guide to Grounding and Shielding
版本/日期
2018-11-22
pdf - 120 KB
版本/日期
2018-11-22
pdf - 125 KB
文件
用户使用手册PZ173
E-536 PicoCube压电控制器
版本/日期
2007-03-29
pdf - 638 KB
English
