N-310 NEXACT OEM小型直线电机/促动器

结构紧凑、速度快、长行程,PiezoWalk原理

  • 行程达20mm
  • 紧凑且经济的设计
  • 分辨率达0.03nm
  • 驱动力达10N
N-310 NEXACT OEM小型直线电机/促动器
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通过PiezoWalk步进驱动器实现纳米精度和大进给力

数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动器中执行步进运动,将动轮向前推进。 促动器控制可实现远低于1nm分辨率的极小步进和推进运动。

增量直线光栅尺用于高精度位置测量

非接触式光学直线光栅尺以高精度直接在平台上测量位置。 非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。

应用领域

  • 工业级精密定位
  • 半导体技术
  • 半导体测试
  • 晶圆检测
  • 光刻
  • 纳米压印
  • 纳米测量

规格

数据表

数据表N-310

版本/日期
2026-03-16
pdf - 492 KB
版本/日期
2026-03-16
pdf - 510 KB
版本/日期
2026-05-08
pdf - 769 KB

下载

数据表

数据表

数据表N-310

版本/日期
2026-03-16
pdf - 492 KB
版本/日期
2026-03-16
pdf - 510 KB
版本/日期
2026-05-08
pdf - 769 KB

文件

文件

用户使用手册N310T0012

N-310 NEXACT OEM小型直线驱动器

版本/日期
2024-12-20
pdf - 986 KB
English

3D模型

3D模型

N-310.11 3D模型

版本/日期
2025-01-02
zip - 119 KB

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