具有高动力和高稳定性的PiezoWalk®促动器

PiezoWalk®促动器是基于压电陶瓷的高度专业化驱动器,用途在于集成。该促动器设计用于半导体工业,融合了最佳的可靠性、位置分辨率和长期稳定性。

特殊特征包括最小尺寸、高力生成。驱动器本身可抗磁场。请联系PI咨询改型!