N-216 NEXLINE线性促动器

长行程纳米定位,具有高力,PiezoWalk原理

N-216 NEXLINE线性促动器
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应用领域

  • 工业级精度定位
  • 半导体技术
  • 半导体测试
  • 晶圆检测
  • 平版印刷术
  • 纳米压印
  • 纳米测量
  • 强磁场和真空中运动

采用PiezoWalk步进驱动实现纳米精度和大进给力

数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动,将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分辨率进行最小步进和推进运动。

增量编码器用于高精度位置测量

非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。

适用于复杂真空应用

PI的压电电机原则上是真空兼容的,并且适合在强磁场中运行。驱动器的特殊版本适于此目的。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的无尘室或环境中。

规格

数据表N-216

版本/日期
2018-07-17
版本/日期
2018-07-17
版本/日期
2018-07-17
文件语言
pdf - 713 KB
pdf - 722 KB
pdf - 790 KB

下载

数据表

数据表N-216

版本/日期
2018-07-17
版本/日期
2018-07-17
版本/日期
2018-07-17
文件语言
pdf - 713 KB
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文件

用户使用手册N216T0013

N-216.101、1A1、201、2A1 NEXLINE®压电步进高负载促动器
版本/日期
2017-07-20
文件语言 English
pdf - 1 MB

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