N-331 PICMAWalk 步进驱动器

用于速度高达15毫米/秒、推拉力高达50牛的持久应用的OEM步进驱动器

N-331 PICMAWalk 步进驱动器
产品描述 规格 下载 报价/订购
  • 带PICMA技术可实现超级耐久性的稳健型且可用于工业的步进驱动
  • 其尺寸级别中最快、最强的驱动器
  • 动轮长度的变化范围为25毫米至100 毫米
  • 重达5公斤的负载的精确、纳米级精度定位
  • 即插即用型,得益于PI专有的控制器技术

应用领域

  • 工业级精度定位
  • 半导体技术
  • 半导体测试
  • 晶圆检测
  • 平版印刷术
  • 纳米压印
  • 纳米测量
  • 强磁场和真空中运动

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

采用PiezoWalk步进驱动实现纳米精度和大进给力

数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动,将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分辨率进行最小步进和推进运动。

增量编码器用于高精度位置测量

非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。

适用于复杂真空应用

PI的压电电机原则上是真空兼容的,并且适合在强磁场中运行。驱动器的特殊版本适于此目的。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的无尘室或环境中。

规格

数据表N-331

版本/日期
2018-10-16
版本/日期
2018-10-16
版本/日期
2018-10-16
文件语言
pdf - 756 KB
pdf - 769 KB
pdf - 791 KB

下载

数据表

数据表N-331

版本/日期
2018-10-16
版本/日期
2018-10-16
版本/日期
2018-10-16
文件语言
pdf - 756 KB
pdf - 769 KB
pdf - 791 KB

文件

用户使用手册PZ271

N-331压电步进驱动器PICMAWalk
版本/日期
2017-03-22
文件语言 English
pdf - 564 KB

3D模型

N-331 3-D模型

N-331 3-D模型

白皮书 & 成功故事

Whitepaper: Controlling PI Positioners with External Zygo Interferometers

版本/日期
WP4017E 2018-11
版本/日期
WP4017D 2018-11
文件语言
pdf - 637 KB
pdf - 1 MB

订购信息

所需数量、价格和供货周期请求免费报价或描述您所需的改型。所有线上有货的产品均可直接订购。

询问工程师

通过电子邮件或电话从当地PI销售工程师处快速获取解答。