Q-522 Q-Motion®小型线性平台

小尺寸、高分辨率、价格实惠的压电电机

Q-522 Q-Motion® Miniature Linear Stage with incremental encoder with up to 1 nm resolution (optional)
宽度仅为22毫米,高度仅为10毫米
采用增量编码器实现直接位置测量,编码器分辨率高达1纳米(可选)
最小位移高达2纳米
不带转接器的XY向安装
安装无需转接器的Q-622转台
适用于高真空达10-6 百帕,超高真空变型可适用于10-9 百帕。

精密级微定位平台

Q-Motion®平台的尺寸小,位置分辨率高达纳米级。压电电机驱动器原理及其电气操作的成本效益好,可定制

PIShift压电陶瓷惯性驱动器

静止状态下自锁,因而无热量产生和伺服抖动。速度达10毫米/秒。保持力为1牛,馈通力为1牛

直接测量原理

可提供带非接触式光学线性编码器的版本。分辨率为4纳米或1纳米,取决于不同版本。带配置参考点开关的编码器的版本

真空和无磁性环境

所有Q-Motion平台都适用于高真空中的操作,真空可达10-6 百帕。此外,超高真空变型可适用于10-9 百帕。还可按需提供无磁性变型

应用领域

工业和科研。用于计量、显微镜、显微操纵、生物技术和自动化

规格

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数据表 Q-522

2015-10-15
2015-10-15
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Q-522.000
Q-Motion®小型线性平台,行程为6.5毫米,不带位置传感器,用于开环操作,推/拉力为1牛,尺寸为22×22×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
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Q-522.00U
Q-Motion®小型线性平台,行程为6.5毫米,不带位置传感器,用于开环操作,推/拉力为1牛,尺寸为22×22×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器,真空兼容至10-9 百帕
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Q-522.030
Q-Motion®小型线性平台,行程为6.5毫米,线性编码器,分辨率为4纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×22×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
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Q-522.040
Q-Motion®小型线性平台,行程为6.5毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×22×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
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Q-522.04U
Q-Motion®小型线性平台,行程为6.5毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×22×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器,真空兼容至10-9 百帕
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Q-522.100
Q-Motion®小型线性平台,行程为13毫米,不带位置传感器,用于开环操作,推/拉力为1牛,尺寸为22×32×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
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Q-522.10U
Q-Motion®小型线性平台,行程为13毫米,不带位置传感器,用于开环操作,推/拉力为1牛,尺寸为22×32×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器,真空兼容至10-9 百帕
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Q-522.130
Q-Motion®小型线性平台,行程为13毫米,线性编码器,分辨率为4纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×32×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
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Q-522.140
Q-Motion®小型线性平台,行程为13毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×32×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
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Q-522.14U
Q-Motion®小型线性平台,行程为13毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×32×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器,真空兼容至10-9 百帕
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Q-522.200
Q-Motion®小型线性平台,行程为26毫米,不带位置传感器,用于开环操作,推/拉力为1牛,尺寸为22×42×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
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Q-522.20U
Q-Motion®小型线性平台,行程为26毫米,不带位置传感器,用于开环操作,推/拉力为1牛,尺寸为22×42×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器,真空兼容至10-9 百帕
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Q-522.230
Q-Motion®小型线性平台,行程为26毫米,线性编码器,分辨率为4纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×42×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
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Q-522.240
Q-Motion®小型线性平台,行程为26毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×42×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器
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Q-522.24U
Q-Motion®小型线性平台,行程为26毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32×42×10毫米(宽×长×高),压电惯性驱动器,真空兼容至10-9 百帕
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数据表

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数据表 Q-522

2015-10-15
2015-10-15
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文件

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用户使用手册MP134

Q-522 Q-Motion小型线性平台,压电惯性驱动器
2015-02-24
2015-02-24
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简单说明MP139EK

Q-5xx、Q-6xx PIShift平台
3.0.0 2017-03-23
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3D模型

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Q-522 STEP

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