具有PiezoWalk®步进驱动器的紧凑型线性平台

PiezoWalk®驱动器是十多年前为半导体产业开发的。就可靠性、位置分辨率和长期稳定性而言,半导体产业是一个非常严苛的行业。2005年,PI的PiezoWalk®技术荣获SEMI技术创新奖。通过不断开发,此类驱动器目前衍生出了很多版本,可用于不同的应用领域。