N-310 NEXACTOEM小型线性电机/促动器

紧凑,快速,具有长行程,PiezoWalk原理

N-310 NEXACTOEM小型线性电机/促动器
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  • 行程为10至125毫米,动轮长度可变
  • 紧凑型设计,经济划算的设计
  • 分辨率达0.03纳米
  • 力量生成达10牛

应用领域

  • 工业级精度定位
  • 半导体技术
  • 半导体测试
  • 晶圆检测
  • 平版印刷术
  • 纳米压印
  • 纳米测量
  • 强磁场和真空中运动

采用PiezoWalk步进驱动实现纳米精度和大进给力

数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动,将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分辨率进行最小步进和推进运动。

增量编码器用于高精度位置测量

非接触式光学线性编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。

适用于复杂真空应用

PI的压电电机原则上是真空兼容的,并且适合在强磁场中运行。驱动器的特殊版本适于此目的。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的无尘室或环境中。

规格

数据表N-310

版本/日期
2018-04-17
版本/日期
2018-04-17
版本/日期
2017-11-16
文件语言
pdf - 666 KB
pdf - 678 KB
pdf - 748 KB

下载

数据表

数据表N-310

版本/日期
2018-04-17
版本/日期
2018-04-17
版本/日期
2017-11-16
文件语言
pdf - 666 KB
pdf - 678 KB
pdf - 748 KB

文件

用户使用手册N310T0012

版本/日期
2017-04-28
文件语言 English
pdf - 325 KB

3D模型

N-310 STEP

文件语言 English

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