N-381 NEXACT®线性促动器,机械手,压电步进

高分辨率,可选配位置传感器

N-381 NEXACT®线性促动器,机械手,压电步进
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  • 行程为30毫米
  • 产生的力高达10牛
  • 带NEXACT®压电步进驱动器
  • 可选配:集成线性编码器,分辨率为20纳米

Fields of application

  • Industrial precision positioning
  • Semiconductor technology
  • Semiconductor tests
  • Wafer inspection
  • Lithography
  • Nanoimprinting
  • Nanometrology
  • Motion in strong magnetic fields and in a vacuum

Nanometer precision and high feed force with PiezoWalk® walking drives

Several piezo actuators perform a walking motion in the PiezoWalk® walking drive that leads to forward feed of a runner. Control of the actuators allows the smallest step and forward feed motion at a resolution of well under one nanometer.

Highly accurate position measuring with incremental encoder

Noncontact optical encoders measure the position directly at the platform with the greatest accuracy. Nonlinearity, mechanical play or elastic deformation have no influence on the measurement.

规格

数据表N-381

版本/日期
2018-04-17
版本/日期
2018-04-17
版本/日期
2017-11-17
文件语言
pdf - 574 KB
pdf - 581 KB
pdf - 355 KB

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数据表

数据表N-381

版本/日期
2018-04-17
版本/日期
2018-04-17
版本/日期
2017-11-17
文件语言
pdf - 574 KB
pdf - 581 KB
pdf - 355 KB

文件

Technical Note N381T0002

N-381 NEXACT® Linear Actuator, Manipulator, Piezo Stepper
版本/日期
2011-05-18
文件语言 German
pdf - 184 KB

3D模型

N-381 STEP

文件语言 English
zip - 202 KB

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