N-565 带线性编码器实现最高精度

具有亚纳米级编码器分辨率的NEXACT®压电步进驱动器

N-565 带线性编码器实现最高精度
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  • 超高精度:最小位移为2纳米,直接测量PIOne编码器的分辨率为0.5纳米
  • 长行程:13 毫米、26 毫米或52 毫米
  • 关机后自锁:节约能量,减少热量产生
  • PiezoWalk®技术带来长使用寿命和高可靠性
  • 紧凑型设计:宽为65毫米、高为20毫米

NEXACT®参考类别线性定位器

带NEXACT® PiezoWalk®驱动器的线性定位器可实现长行程范围内的纳米级高精度定位。其配置直接测量线性编码器和交叉滚柱轴承,可实现最高精度。

PiezoWalk®技术:高分辨率、低磨损

PiezoWalk®技术将压电陶瓷促动器与压电电机的技术优势结合在一起。PiezoWalk®步进驱动器不仅能提供亚纳米级分辨率、较大的力和高刚性,而且根据其驱动原理,其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理,PiezoWalk®步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触,这几个促动器沿一个动轮步进。静止状态下,PiezoWalk®步进驱动器自锁,不消耗能量,无热量产生。

带PIOne线性编码器用于直接位置测量

高分辨率PIOne编码器由PI研发,在对测量数据进行相应处理后,可实现远低于1纳米的位置分辨率。此外,由于信号周期短、信号质量高,PIOne编码器的线性误差小于1 %。PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。

有效专利

在压电陶瓷步进驱动器(NEXACT®、NEXLINE®)技术领域,PI拥有以下专利或专利申请:

DE10148267B4, EP1267478B1, EP2209202B1, EP2209203B1, US6800984B2

应用领域

样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。.

规格

数据表N-565

版本/日期
2017-09-01
版本/日期
2017-09-01
版本/日期
2017-11-06
文件语言
pdf - 517 KB
pdf - 514 KB
pdf - 848 KB

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数据表

数据表N-565

版本/日期
2017-09-01
版本/日期
2017-09-01
版本/日期
2017-11-06
文件语言
pdf - 517 KB
pdf - 514 KB
pdf - 848 KB

文件

用户使用手册MP148E110

N-565 NEXACT®平台
版本/日期
2016-06-01
版本/日期
2016-06-01
文件语言
pdf - 1 MB
pdf - 2 MB

简单说明MP137EK

N-524、N-565、N-765 NEXACT®平台
版本/日期
2015-10-09
pdf - 803 KB

3D模型

N-565 STEP

文件语言 English

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N-565.160
精密线性定位平台,行程为13毫米,PIOne线性编码器,分辨率为0.5纳米,驱动力为10牛,尺寸为65 × 80 × 20毫米(宽 × 长 × 高),NEXACT®压电步进驱动器
N-565.260
精密线性定位平台,行程为26毫米,PIOne线性编码器,分辨率为0.5纳米,驱动力为10牛,尺寸为65 × 110 × 20毫米(宽 × 长 × 高),NEXACT®压电步进驱动器
N-565.360
精密线性定位平台,行程为52毫米,PIOne线性编码器,分辨率为0.5纳米,驱动力为10牛,尺寸为65 × 160 × 20毫米(宽 × 长 × 高),NEXACT®压电步进驱动器

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