P-620.1 – P-629.1 PIHera压电陶瓷线性平台

多种行程范围和轴配置

行程范围50至1800毫米
分辨率达0.1纳米
定位精度0.02%
带电容式传感器的直接计量
X、XY、Z和XYZ型

参考类别线性定位器

无摩擦、免维护、无磨损零部件带来的超高可靠性。真空兼容型可达10-9 百帕

集成式杠杆/导向模块可实现多种轴配置的灵活设置

用于精密导向的无摩擦柔性铰链导向设计与实现大行程的杠杆放大相结合。由全瓷绝缘PICMA促动器驱动,具有超长使用寿命

带电容传感器的直接位置计量

无接触式测量法(直接测量)。无摩擦亚纳米级分辨率。极佳的线性度。达10千赫兹的高带宽

应用领域

科研和工业。真空环境达10-9 百帕

规格

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Datasheet P-620.1 – P-629.1

2018-02-19
2018-02-19
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图纸/图片

PI P-621.1CD Diagram

带Sub-D连接器的版本

P-620.1CD
精密PIHera线性纳米级定位系统、50微米行程、直接测量、电容式传感器、Sub-D连接器
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P-621.1CD
精密PIHera线性纳米级定位系统、100微米行程、直接测量、电容式传感器、Sub-D连接器
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P-622.1CD
精密PIHera线性纳米级定位系统、250微米行程、直接测量、电容式传感器、Sub-D连接器
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P-625.1CD
精密PIHera线性纳米级定位系统、500微米行程、直接测量、电容式传感器、Sub-D连接器
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P-628.1CD
精密PIHera线性纳米级定位系统、800微米行程、直接测量、电容式传感器、Sub-D连接器
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P-629.1CD
PIHera线性压电陶瓷纳米级定位平台、1500微米行程、电容式传感器、Sub-D连接器
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带LEMO连接器的版本

P-620.1CL
精密PIHera线性纳米级定位系统、50微米行程、直接测量、电容式传感器、LEMO连接器
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P-621.1CL
精密PIHera线性纳米级定位系统、100微米行程、直接测量、电容式传感器、LEMO连接器
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P-622.1CL
精密PIHera线性纳米级定位系统、250微米行程、直接测量、电容式传感器、LEMO连接器
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P-625.1CL
精密PIHera线性纳米级定位系统、500微米行程、直接测量、电容式传感器、LEMO连接器
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P-628.1CL
精密PIHera线性纳米级定位系统、800微米行程、直接测量、电容式传感器、LEMO连接器
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P-629.1CL
PIHera线性压电陶瓷纳米级定位平台、1500微米行程、电容式传感器、LEMO连接器
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PIHera不带位置传感器的线性定位器

P-620.10L
精密PIHera线性纳米级定位系统、60微米行程、开环、LEMO连接器
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P-621.10L
精密PIHera线性纳米级定位系统、120微米行程、开环、LEMO连接器
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P-622.10L
精密PIHera线性纳米级定位系统、300微米行程、开环、LEMO连接器
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P-625.10L
精密PIHera线性纳米级定位系统、600微米行程、开环、LEMO连接器
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P-628.10L
精密PIHera线性纳米级定位系统、950微米行程、开环、LEMO连接器
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P-629.10L
精密PIHera线性纳米级定位系统、1800微米行程、开环、LEMO连接器
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PIHera线性定位器、真空兼容达10 百帕

P-620.1UD
精密PIHera线性纳米级定位系统、50微米行程、直接测量、电容式传感器、Sub-D连接器、真空兼容达10-9 百帕
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P-621.1UD
精密PIHera线性纳米级定位系统、100微米行程、直接测量、电容式传感器、Sub-D连接器、真空兼容达10-9 百帕
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P-622.1UD
精密PIHera线性纳米级定位系统、250微米行程、直接测量、电容式传感器、Sub-D连接器、真空兼容达10-9 百帕
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P-625.1UD
精密PIHera线性纳米级定位系统、500微米行程、直接测量、电容式传感器、Sub-D连接器、真空兼容达10-9 百帕
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P-628.1UD
精密PIHera线性纳米级定位系统、800微米行程、直接测量、电容式传感器、Sub-D连接器、真空兼容达10-9 百帕
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P-629.1UD
PIHera线性压电陶瓷纳米级定位平台、1500微米行程、电容式传感器、Sub-D连接器、真空兼容达10-9 百帕
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数据表

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Datasheet P-620.1 – P-629.1

2018-02-19
2018-02-19
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文件

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用户使用手册PZ234

具有电容传感器的P-620、P-621、P-622、P-625、P-628、P-629 PIHera压电陶瓷平台
2014-07-15
2014-07-15
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简短说明PZ240EKDK

P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
4.0.0 2017-02-06
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3D模型

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P-62x.1 STEP

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其它

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成功案例:光学3D表面测量技术

由于压电陶瓷技术和共焦技术,精确轮廓再现最精细的结构。作者:Gernot Hamann
成功案例pi1135
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