P-630 高动态纳米级定位系统

具有大通光孔径的单轴

PI P-630
达3.25千赫兹的谐振频率
行程范围达80 毫米
落地面积和剖面高度小
通光孔径为30毫米

参考类别纳米定位系统

单轴 无摩擦柔性铰链导向设计,直接驱动。具有最高稳定性和线性度的电容式位置传感器

PICMA高性能压电陶瓷驱动器

带全瓷绝缘的压电陶瓷促动器 使用寿命更长、防潮性能佳、工作温度达 80 °C

应用领域

光学元件或物体在光程中的精密定位,用于科研和工业中的微加工、显微结构和扫描任务。可作为真空设备

规格

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数据表P-630

2015-01-30
2015-01-30
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图纸/图片

[Translate to Chinese:] PI P-630 Diagram, The smallest resolvable step size of P-630.XCD with E-753.1CD digital controller is below one nm. Measured externally with a laser interferometer.
[Translate to Chinese:] PI P-630 Drawing

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数据表

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数据表P-630

2015-01-30
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文件

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用户使用手册PZ247

具有孔径和电容传感器的P-630、P-631压电陶瓷纳米级定位系统
2013-09-20
2013-09-20
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简短说明PZ240EKDK

P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
4.0.0 2017-02-06
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其它

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标题——PI杂志,期号49

六足位移台自动化现场总线/G代码;磁性直接驱动PIMag音圈及更多内容......
NUZ49
NUZ49
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