P-853 • P-854 压电微米驱动器

集成具有亚纳米级分辨率的压电驱动器

PI P-853
行程范围达18毫米
压电高分辨率行程达25微米
亚纳米级分辨率
达10赫兹的动态操作
标准微米驱动器的替代品

Specifications

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数据表P-853 • P-854

2015-02-02
2015-02-02
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