P-915KVPZ 真空兼容Z向压电工作台

高负载、高动态和大通光孔径

P-915KVPZ 真空兼容Z向压电工作台
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  • 行程45微米
  • 大通光孔径273 毫米 × 273 毫米
  • 带电容式传感器的直接计量
  • 实现高动态和刚性的直接驱动器
  • 真空兼容至10-6 百帕
  • PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

规格

数据表P-915KVPZ

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