A-121 带空气轴承的PIglideAT1线性平台

高性能小落地面积纳米级定位平台

A-121 带空气轴承的PIglideAT1线性平台
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  • 扫描应用的完美选择或精密定位
  • 无尘室兼容
  • 运动平台的尺寸115 毫米×115 毫米
  • 行程达350毫米
  • 低外形最小为60 毫米
  • 分辨率达1纳米

产品概述

PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机,电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台,可提供最高的性能、质量和使用寿命。

高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至最高速度。带预载的空气轴承构造支持任意方向上的安装。

附件和可选配件

  • 编码器
  • PIglide过滤器和空气预处理器
  • 多轴运动控制器和直接驱动器
  • XY装置和个性化配置
  • 电缆轨道变型
  • 用于垂直组装的平衡配件
  • 花岗岩底座板和隔振系统

应用领域

PIglide定位系统非常适用于高精度应用,诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。

由于运动无摩擦,不会形成颗粒,PIglide平台非常适用于无尘室应用。

规格

数据表A-121

版本/日期
2018-07-27
版本/日期
2018-07-27
版本/日期
2018-08-16
文件语言
pdf - 657 KB
pdf - 667 KB
pdf - 775 KB

下载

产品注解

Product Change Notification A-xxx.*C1

版本/日期
2018-08-02
文件语言 English
pdf - 71 KB

数据表

数据表A-121

版本/日期
2018-07-27
版本/日期
2018-07-27
版本/日期
2018-08-16
文件语言
pdf - 657 KB
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文件

用户使用手册A121D0001

A-121 PIglide AT1系列线性空气轴承平台、由编码器反馈驱动的线性电机
版本/日期
2016-12-02
文件语言 English
pdf - 1 MB

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A-121.050A1
PIglideAT1线性平台,空气轴承,50毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-121.050B1
PIglideAT1线性平台,空气轴承,50毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-121.100A1
PIglideAT1线性平台,空气轴承,100毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-121.100B1
PIglideAT1线性平台,空气轴承,100毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-121.150A1
PIglideAT1线性平台,空气轴承,150毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-121.150B1
PIglideAT1线性平台,空气轴承,150毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-121.200A1
PIglideAT1线性平台,空气轴承,200毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-121.200B1
PIglideAT1线性平台,空气轴承,200毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-121.250A1
PIglideAT1线性平台,空气轴承,250毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-121.250B1
PIglideAT1线性平台,空气轴承,250毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-121.350A1
PIglideAT1线性平台,空气轴承,350毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-121.350B1
PIglideAT1线性平台,空气轴承,350毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏

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