A-123 带空气轴承的PIglideAT3线性平台

高性能纳米级定位平台

A-123 带空气轴承的PIglideAT3线性平台
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  • 扫描应用的完美选择或精密定位
  • 无尘室兼容
  • 运动平台的尺寸210 毫米×210 毫米
  • 行程50 毫米至750 毫米
  • 分辨率达1纳米

产品概述

PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机,电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台,可提供最高的性能、质量和使用寿命。

高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至最高速度,高承载能力轴承可支承重达60 公斤的有效载荷。该型号中的侧面相对、主动预载空气轴承设计可实现任意方向上的安装。

附件和可选配件

编码器

PIglide过滤器和空气预处理器

单轴和多轴运动控制器

XY装置和个性化配置

电缆轨道变型

用于垂直(Z)方向的配重选项

可提供定制版

大理石底座板和隔振系统

应用领域

PIglide定位系统非常适用于高精度应用,诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。

由于运动无摩擦,不会形成颗粒,PIglide平台非常适用于无尘室应用。

规格

数据表A-123

版本/日期
2017-08-09
版本/日期
2017-08-09
版本/日期
2017-10-23
文件语言
pdf - 908 KB
pdf - 916 KB
pdf - 1 MB

下载

数据表

数据表A-123

版本/日期
2017-08-09
版本/日期
2017-08-09
版本/日期
2017-10-23
文件语言
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文件

用户使用手册A123D0001

A-123 PIglide AT3系列线性空气轴承平台、由编码器反馈驱动的线性电机
版本/日期
2016-12-02
文件语言 English
pdf - 1 MB

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Travel range 50 mm

A-123.050A1
PIglide AT3 Linear Stage, Air Bearing, 50 mm Travel Range, Linear Encoder with Sin/Cos Signal Transmission, 20 µm Signal Period, 3-Phase Linear Motor, 48 V
A-123.050C1
PIglide AT3 Linear Stage, Air Bearing, 50 mm Travel Range, Linear Encoder with A/B Quadrature Signal Transmission, 50 nm Sensor Resolution, 3-Phase Linear Motor, 48 V

Travel range 100 mm

A-123.100A1
PIglide AT3 Linear Stage, Air Bearing, 100 mm Travel Range, Linear Encoder with Sin/Cos Signal Transmission, 20 µm Signal Period, 3-Phase Linear Motor, 48 V
A-123.100C1
PIglide AT3 Linear Stage, Air Bearing, 100 mm Travel Range, Linear Encoder with A/B Quadrature Signal Transmission, 50 nm Sensor Resolution, 3-Phase Linear Motor, 48 V

Travel range 150 mm

A-123.150A1
PIglide AT3 Linear Stage, Air Bearing, 150 mm Travel Range, Linear Encoder with Sin/Cos Signal Transmission, 20 µm Signal Period, 3-Phase Linear Motor, 48 V
A-123.150C1
PIglide AT3 Linear Stage, Air Bearing, 150 mm Travel Range, Linear Encoder with A/B Quadrature Signal Transmission, 50 nm Sensor Resolution, 3-Phase Linear Motor, 48 V

Travel range 200 mm

A-123.200A1
PIglide AT3 Linear Stage, Air Bearing, 200 mm Travel Range, Linear Encoder with Sin/Cos Signal Transmission, 20 µm Signal Period, 3-Phase Linear Motor, 48 V
A-123.200C1
PIglide AT3 Linear Stage, Air Bearing, 200 mm Travel Range, Linear Encoder with A/B Quadrature Signal Transmission, 50 nm Sensor Resolution, 3-Phase Linear Motor, 48 V

Travel range 350 mm

A-123.350A1
PIglide AT3 Linear Stage, Air Bearing, 350 mm Travel Range, Linear Encoder with Sin/Cos Signal Transmission, 20 µm Signal Period, 3-Phase Linear Motor, 48 V
A-123.350C1
PIglide AT3 Linear Stage, Air Bearing, 350 mm Travel Range, Linear Encoder with A/B Quadrature Signal Transmission, 50 nm Sensor Resolution, 3-Phase Linear Motor, 48 V

Travel range 500 mm

A-123.500A1
PIglide AT3 Linear Stage, Air Bearing, 500 mm Travel Range, Linear Encoder with Sin/Cos Signal Transmission, 20 µm Signal Period, 3-Phase Linear Motor, 48 V
A-123.500C1
PIglide AT3 Linear Stage, Air Bearing, 500 mm Travel Range, Linear Encoder with A/B Quadrature Signal Transmission, 50 nm Sensor Resolution, 3-Phase Linear Motor, 48 V

Travel range 750 mm

A-123.750A1
PIglide AT3 Linear Stage, Air Bearing, 750 mm Travel Range, Linear Encoder with Sin/Cos Signal Transmission, 20 µm Signal Period, 3-Phase Linear Motor, 48 V
A-123.750C1
PIglide AT3 Linear Stage, Air Bearing, 750 mm Travel Range, Linear Encoder with A/B Quadrature Signal Transmission, 50 nm Sensor Resolution, 3-Phase Linear Motor, 48 V