A-123 带空气轴承的PIglideAT3线性平台

高性能纳米级定位平台

A-123 带空气轴承的PIglideAT3线性平台
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  • 扫描应用的完美选择或精密定位
  • 无尘室兼容
  • 运动平台的尺寸210 毫米×210 毫米
  • 行程50 毫米至750 毫米
  • 分辨率达1纳米

产品概述

PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机,电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台,可提供最高的性能、质量和使用寿命。

高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至最高速度,高承载能力轴承可支承重达60 公斤的有效载荷。该型号中的侧面相对、主动预载空气轴承设计可实现任意方向上的安装。

附件和可选配件

  • 编码器
  • PIglide过滤器和空气预处理器
  • 单轴和多轴运动控制器
  • XY装置和个性化配置
  • 电缆轨道变型
  • 用于垂直(Z)方向的配重选项
  • 可提供定制版
  • 花岗岩底座板和隔振系统

应用领域

PIglide定位系统非常适用于高精度应用,诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。

由于运动无摩擦,不会形成颗粒,PIglide平台非常适用于无尘室应用。

规格

数据表A-123

版本/日期
2018-07-27
版本/日期
2018-07-27
版本/日期
2018-08-16
文件语言
pdf - 698 KB
pdf - 709 KB
pdf - 807 KB

下载

产品注解

Product Change Notification A-xxx.*C1

版本/日期
2018-08-02
文件语言 English
pdf - 71 KB

数据表

数据表A-123

版本/日期
2018-07-27
版本/日期
2018-07-27
版本/日期
2018-08-16
文件语言
pdf - 698 KB
pdf - 709 KB
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文件

用户使用手册A123D0001

A-123 PIglide AT3系列线性空气轴承平台、由编码器反馈驱动的线性电机
版本/日期
2016-12-02
文件语言 English
pdf - 1 MB

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A-123.050A1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,50毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.050B1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,50毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.100A1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,100毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.100B1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,100毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.150A1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,150毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.150B1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,150毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.200A1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,200毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.200B1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,200毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.350A1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,350毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.350B1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,350毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.500A1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,500毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.500B1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,500毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.750A1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,750毫米行程,增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米传感器信号周期,无铁芯三相线性电机,48伏
A-123.750B1
PIglideAT3线性平台,空气轴承,750毫米行程,带BiSS-C信号传输的绝对线性编码器,1纳米传感器分辨率,无铁芯三相线性电机,48伏

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