A-123 带空气轴承的PIglideAT3线性平台

高性能纳米级定位平台

Physik Instrumente (PI) A-123 PIglide AT3 Linear Stage with Air Bearing
扫描应用的完美选择或精密定位
无尘室兼容
运动平台的尺寸210 毫米×210 毫米
行程50 毫米至750 毫米
分辨率达1纳米

产品概述

PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机,电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台,可提供最高的性能、质量和使用寿命。

高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至最高速度,高承载能力轴承可支承重达60 公斤的有效载荷。该型号中的侧面相对、主动预载空气轴承设计可实现任意方向上的安装。

附件和可选配件

编码器

PIglide过滤器和空气预处理器

单轴和多轴运动控制器

XY装置和个性化配置

电缆轨道变型

用于垂直(Z)方向的配重选项

可提供定制版

大理石底座板和隔振系统

应用领域

PIglide定位系统非常适用于高精度应用,诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。

由于运动无摩擦,不会形成颗粒,PIglide平台非常适用于无尘室应用。

规格

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数据表A-123

2017-08-09
2017-08-09
2017-10-23
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图纸/图片

PI A-123

行程为50毫米

A-123.050A1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为50毫米, 带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米信号周期,三相线性电机,48伏
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A-123.050B1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为50毫米, 绝对编码器,1纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
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A-123.050C1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为50毫米, 带A/B正交信号传输的线性编码器,50纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
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行程为100毫米

A-123.100A1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为100毫米, 带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米信号周期,三相线性电机,48伏
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A-123.100B1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为100毫米, 绝对编码器,1纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
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A-123.100C1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为100毫米, 带A/B正交信号传输的线性编码器,50纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
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行程为150毫米

A-123.150A1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为150毫米, 带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米信号周期,三相线性电机,48伏
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PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为150毫米, 绝对编码器,1纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
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A-123.150C1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为150毫米, 带A/B正交信号传输的线性编码器,50纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
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行程为200毫米

A-123.200A1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为200毫米, 带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米信号周期,三相线性电机,48伏
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A-123.200B1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为200毫米, 绝对编码器,1纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
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A-123.200C1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为200毫米, 带A/B正交信号传输的线性编码器,50纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
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行程为350毫米

A-123.350A1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为350毫米, 带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米信号周期,三相线性电机,48伏
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PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为350毫米, 绝对编码器,1纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
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A-123.350C1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为350毫米, 带A/B正交信号传输的线性编码器,50纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
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行程为500毫米

A-123.500A1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为500毫米, 带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米信号周期,三相线性电机,48伏
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A-123.500B1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为500毫米, 绝对编码器,1纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
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A-123.500C1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为500毫米, 带A/B正交信号传输的线性编码器,50纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
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行程为750毫米

A-123.750A1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为750毫米, 带正弦/余弦信号传输的线性编码器,20微米信号周期,三相线性电机,48伏
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A-123.750B1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为750毫米, 绝对编码器,1纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
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A-123.750C1
PIglide AT3线性平台,空气轴承,行程为750毫米, 带A/B正交信号传输的线性编码器,50纳米传感器分辨率,三相线性电机,48伏
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数据表

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数据表A-123

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2017-08-09
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文件

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用户使用手册A123D0001

A-123 PIglide AT3系列线性空气轴承平台、由编码器反馈驱动的线性电机
2016-12-02
English
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3D模型

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A-123 3-D模型

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