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UPS-150 超高精度平台

UPS-150 超高精度平台
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超高精度平台UPS-150专门设计用于亚表面晶圆检验、光线对准、高精度机器人以及必需最大定位精度和最高稳定性的任务。

所有超高精度平台UPS-150都配备一个线性标尺,该标尺于导向装置之间居中安装。两个限位开关可防止意外超程。交叉滚柱轴承可保证最大的负载能力和最平滑的运动。消除了应力的特殊淬火铝合金可保证均匀无翘曲的结构。150结构系列由无铁心线性电机驱动,提供较大加速度和较高速度。可保证每100毫米行程的系统精度小于1微米、可重复性小于0.025微米。该超高精度平台的合格证明随机提供(平面度、直线度、螺距、偏转角和位置)。测量由安装在花岗岩上并实现卸载的平台实现,花岗岩的平面度小于1微米。

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UPS-150超高精度平台,无铁芯线性电机-015,52毫米(2"),线性钢标尺-011

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UPS-150超高精度平台,无铁芯线性电机-015,52毫米(2"),线性玻璃标尺-011

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UPS-150超高精度平台,无铁芯线性电机-015,102毫米(4"),线性钢标尺-011

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UPS-150超高精度平台,无铁芯线性电机-015,102毫米(4"),线性玻璃标尺-011

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UPS-150超高精度平台,无铁芯线性电机-015,155毫米(6"),线性钢标尺-011

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UPS-150超高精度平台,无铁芯线性电机-015,155毫米(20"),线性玻璃标尺-020

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UPS-150超高精度平台,无铁芯线性电机-015,205毫米(8"),线性钢标尺-011

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UPS-150超高精度平台,无铁芯线性电机-015,205毫米(8"),线性玻璃标尺-020

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UPS-150超高精度平台,无铁芯线性电机-015,305毫米(12"),线性钢标尺-011

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UPS-150超高精度平台,无铁芯线性电机-015,305毫米(12"),线性玻璃标尺-020

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