M-110 • M-111 • M-112 紧凑型微米级位移平台

选择驱动器和行程、可能的XY(Z)组合

PI M-110.1DG
行程为5毫米、15毫米和25毫米
成本效益非常高
最小位移达50纳米
最大速度为2毫米/秒
闭环直流伺服和步进电机版本
非接触式限位和参考点开关
再循环滚珠丝杆驱动器可供选配,以实现高速和较长使用寿命。
真空兼容型可达10-6 百帕

规格

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数据表M-110 • M-111 • M-112

2015-05-08
2015-05-08
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图纸/图片

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M-110.1DG
平移台、5毫米、直流齿轮电机
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M-111.1DG
平移台、15毫米、直流齿轮电机
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M-112.1DG
平移台、25毫米、直流齿轮电机
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M-110.12S
平移台、5毫米、步进电机
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M-111.12S
平移台、15毫米、步进电机
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M-112.12S
平移台、25毫米、步进电机
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M-110.2DG
平移台、5毫米、直接齿轮电机、再循环滚珠丝杠
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M-111.2DG
平移台、15毫米、直接齿轮电机、再循环滚珠丝杠
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M-112.2DG
平移台、25毫米、直接齿轮电机、再循环滚珠丝杠
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M-110.22S
平移台、5毫米、步进电机、再循环滚珠丝杠
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M-111.22S
平移台、15毫米、步进电机、再循环滚珠丝杠
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M-112.22S
平移台、25毫米、步进电机、再循环滚珠丝杠
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数据表

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数据表M-110 • M-111 • M-112

2015-05-08
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文件

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用户使用手册MP41

M-110 • M-111 • M-112 紧凑型微移平台
2011-03-15
2011-03-15
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简单说明MP119EK

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