N-765 精密Z向位移台

具有亚纳米级编码器分辨率的NEXACT®压电步进驱动器

N-765 精密Z向位移台
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  • 采用PIOne增量编码器实现直接测量,分辨率为0.5纳米
  • 最小位移达1纳米
  • 行程为6.5毫米
  • 负载能力达25牛
  • 可以直接安装在N-565线性定位器上

NEXACT®参考级线性定位器

带NEXACT® PiezoWalk®驱动器的线性定位器可实现较长行程范围内的纳米级高精度定位。其配置直接测量线性编码器和交叉滚柱轴承,可实现最高精度。紧凑、扁平的设计使定位器能轻松实现机械集成。工作所需电压低。

PiezoWalk®技术:高分辨率、低磨损

PiezoWalk®技术将压电陶瓷促动器与压电电机的技术优势结合在一起。PiezoWalk®步进驱动器不仅能提供亚纳米级分辨率、较大的力和高刚性,而且根据其驱动原理,其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理,PiezoWalk®步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触,这几个促动器沿一个动轮步进。前馈时,促动器被从动轮处物理提升,几乎不会造成任何磨损。在促动器上相对于动轮施加预载可确保步进驱动器自锁。因此,步进驱动器静止状态下将保持位置,关机时可实现机械稳定(无伺服抖动)。静止状态自锁,无能量消耗,无热量产生。

带PIOne线性编码器用于直接位置测量

高分辨率PIOne编码器由PI研发,在对测量数据进行相应处理后,可实现远低于1纳米的位置分辨率。光学非接触式PIOne编码器基于干涉测量原理。其以极高的精度直接在运动平台上进行实际位置测量,因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。由于信号周期仅为0.5微米,信号质量高,PIOne编码器的线性误差小于1%。PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。

交叉滚子轴承

利用交叉滚柱轴承,滚珠轴承中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此,它们的刚度明显提高,需要的预载更小,这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱轴承的另一个特征是高导向精度和负载能力。滚动主体架的受迫导向防止滚柱轴承发生蠕变。

有效专利

在压电陶瓷步进驱动器(NEXACT®和NEXLINE®)技术领域,PI拥有以下专利或专利申请:

DE10148267B4,EP1267478B1,EP2209202B1,EP2209203B1,US6800984B2,DE4408618B4

应用领域

样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。

规格

数据表N-765

版本/日期
2018-07-03
版本/日期
2018-07-03
版本/日期
2018-09-04
文件语言
pdf - 737 KB
pdf - 745 KB
pdf - 835 KB

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数据表

数据表N-765

版本/日期
2018-07-03
版本/日期
2018-07-03
版本/日期
2018-09-04
文件语言
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文件

简单说明MP137EK

N-524、N-565、N-765 NEXACT®平台
版本/日期
2015-10-09
pdf - 803 KB

用户使用手册MP130

N-765 NEXACT®平台
版本/日期
2016-08-10
版本/日期
2016-08-10
文件语言
pdf - 1 MB
pdf - 2 MB

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N-765.060
精密Z向位移台,行程为6.5毫米,PIOne线性编码器,分辨率为0.5纳米,推/拉力为25牛,尺寸为65×110×56毫米(宽×长×高),压电步进驱动器NEXACT®

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