Q-521 Q-Motion®小型线性平台

带位置控制、分辨率高、价格实惠的最小线性平台

Q-521 Q-Motion®小型线性平台
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  • 宽仅21毫米、高仅10毫米
  • 采用集成式增量编码器实现直接位置测量
  • 编码器分辨率高达1纳米
  • 最小位移高达2纳米
  • 带接装板或支架(作为选配件提供)的多轴系统装置

压电惯性驱动器

压电陶瓷惯性驱动器为空间节约型且价格实惠的基于压电陶瓷的驱动器,其保持力相对较大,行程几乎是无限的。惯性驱动原理是基于由特殊驱动器电控提供的修正锯齿波电压控制的单个压电促动器。促动器缓慢膨胀,移动转子。由于其惯性,转子无法跟上促动器随后的快速收缩,停留在其位置上。工作频率高达20千赫兹时,驱动直接作用在动轮上,实现最大为6毫米/秒的速度。

直接测量原理

线性平台配备非接触式测量光学线性编码器和参考点开关。分辨率为4 纳米或1 纳米,取决于不同版本。

应用领域

微装配. 光子. 光学对准. 显微镜. 高能束线设备. 半导体技术. 测试.

规格

数据表

数据表Q-521

版本/日期
2020-06-24
版本/日期
2020-06-24
版本/日期
2021-01-14
文件语言
pdf - 508 KB
pdf - 507 KB
pdf - 621 KB

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产品注解

产品注解

Product Change Notification Q-xxx; N-765

版本/日期
2019-03-26
文件语言 English
pdf - 435 KB

数据表

数据表

数据表Q-521

版本/日期
2020-06-24
版本/日期
2020-06-24
版本/日期
2021-01-14
文件语言
pdf - 508 KB
pdf - 507 KB
pdf - 621 KB

文件

文件

简单说明MP139EK

Q-Motion®定位器:Q-5xx、Q-6xx
版本/日期
4.2.0 12/2019
版本/日期
4.2.0 12/2019
文件语言
pdf - 1 MB
pdf - 1 MB
文件

用户使用手册MP145

Q-521 Q-Motion小型线性定位平台,压电惯性驱动器
版本/日期
1.1.2 2020-07-29
版本/日期
1.1.2 2020-07-29
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Q-521.130
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为12毫米,线性编码器,分辨率为4纳米,推/拉力为0.6牛,尺寸为21 × 30 × 10毫米(W × L × H)
Q-521.140
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为12毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为0.6牛,尺寸为21 × 30 × 10毫米(W × L × H)
Q-521.230
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为22毫米,线性编码器,分辨率为4纳米,推/拉力为0.6牛,尺寸为21 × 32 × 10毫米(W × L × H)
Q-521.240
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为22毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为0.6牛,尺寸为21 × 32 × 10毫米(W × L × H)
Q-521.330
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为32毫米,线性编码器,分辨率为4纳米,推/拉力为0.6牛,尺寸为21 × 42 × 10毫米(W × L × H)
Q-521.340
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为32毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为0.6牛,尺寸为21 × 42 × 10毫米(W × L × H)