Q-521 Q-Motion®小型线性平台

带位置控制、分辨率高、价格实惠的最小线性平台

  • 宽仅21mm、高仅10mm
  • 采用集成式增量编码器实现直接位置测量
  • 编码器分辨率高达1nm
  • 最小位移为30nm
  • 带接装板或支架(作为选配件提供)的多轴系统装置
Q-521 Q-Motion®小型线性平台
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压电惯性驱动器

压电陶瓷惯性驱动器为空间节约型且价格实惠的基于压电陶瓷的驱动器,其保持力相对较大,行程几乎是无限的。 惯性驱动器原理是基于由特殊驱动器电控提供的修正锯齿波电压控制的单个压电促动器。 促动器缓慢膨胀,移动转子。 由于其惯性,转子无法跟上促动器随后的快速收缩,停留在其位置上。 直接作用在动轮上的驱动器在20kHz的最高工作频率下,可达到6mm/s的最大速度。

直接测量原理

线性平台配备非接触式测量光学线性光栅尺和参考点开关。 分辨率为4nm或1nm,取决于不同版本。

应用领域

微装配。 光子 光学对准。 显微镜。 高能束线设备。 半导体技术。 测试应用。

规格

数据表

数据表Q-521

版本/日期
2024-10-28
pdf - 670 KB
版本/日期
2024-10-28
pdf - 774 KB
版本/日期
2025-02-28
pdf - 1 MB

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产品注解

产品注解

Product Change Notification Q-xxx; N-765

版本/日期
2019-03-26
pdf - 435 KB
English

数据表

数据表

数据表Q-521

版本/日期
2024-10-28
pdf - 670 KB
版本/日期
2024-10-28
pdf - 774 KB
版本/日期
2025-02-28
pdf - 1 MB

文件

文件

简单说明MP139EK

Q-Motion®定位器:Q-5xx、Q-6xx

版本/日期
4.3.0 03/2024
pdf - 626 KB
版本/日期
4.3.0 03/2024
pdf - 661 KB
文件

用户使用手册MP145

Q-521 Q-Motion小型线性定位平台,压电惯性驱动器

版本/日期
2024-10-28
pdf - 3 MB
版本/日期
2024-10-28
pdf - 3 MB

3D模型

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Q-521 3D模型

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Q-521.130

Q-Motion®小型线性平台,压电惯性驱动器,行程为12mm,线性光栅尺,分辨率为4nm,驱动力为0.6N,尺寸为21×30×10mm(宽×长×高)

Q-521.140

Q-Motion®小型线性平台,压电惯性驱动器,行程为12mm,线性光栅尺,分辨率为1nm,驱动力为0.6N,尺寸为21×30×10mm(宽×长×高)

Q-521.230

Q-Motion®小型线性平台,压电惯性驱动器,行程为22mm,线性光栅尺,分辨率为4nm,驱动力为0.6N,尺寸为21×32×10mm(宽×长×高)

Q-521.240

Q-Motion®小型线性平台,压电惯性驱动器,行程为22mm,线性光栅尺,分辨率为1nm,驱动力为0.6N,尺寸为21×32×10mm(宽×长×高)

Q-521.330

Q-Motion®小型线性平台,压电惯性驱动器,行程为32mm,线性光栅尺,分辨率为4nm,驱动力为0.6N,尺寸为21×42×10mm(宽×长×高)

Q-521.340

Q-Motion®小型线性平台,压电惯性驱动器,行程为32mm,线性光栅尺,分辨率为1nm,驱动力为0.6N,尺寸为21×42×10mm(宽×长×高)

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