Q-522 Q-Motion®小型线性平台

小尺寸、高分辨率、价格实惠的压电电机

Q-522 Q-Motion®小型线性平台
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  • 宽仅22毫米、高仅10毫米
  • 采用分辨率高达1纳米的增量编码器实现直接位置测量
  • 最小位移高达2纳米
  • 不带转接器的XY向安装
  • 安装无需转接器的Q-622转台
  • 适用于高达10-6百帕的真空环境,还可提供用于真空达10-9百帕的版本

压电惯性驱动器

压电陶瓷惯性驱动器为空间节约型且价格实惠的基于压电陶瓷的驱动器,其保持力相对较大,行程几乎是无限的。惯性驱动原理是基于由特殊驱动器电控提供的修正锯齿波电压控制的单个压电促动器。促动器缓慢膨胀,移动转子。由于其惯性,转子无法跟上促动器随后的快速收缩,停留在其位置上。工作频率高达20千赫兹时,驱动直接作用在动轮上,实现最大为10毫米/秒的速度。

直接测量原理

可提供带非接触式光学线性编码器的版本。分辨率为4纳米或1纳米,取决于不同版本。带编码器的版本具有参考点开关

真空和无磁性环境

所有Q-Motion®线性平台都适用于高真空中的操作,真空可达10-6百帕。此外,适用于10-9百帕的超高真空版本也可供货。可按需提供非磁性版本

应用领域

微装配, 光子, 光学对准, 显微镜, 高能束线设备, 半导体技术, 测试

规格

数据表 Q-522

版本/日期
2018-11-06
版本/日期
2018-11-06
版本/日期
2018-11-06
文件语言
pdf - 1 MB
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数据表

数据表 Q-522

版本/日期
2018-11-06
版本/日期
2018-11-06
版本/日期
2018-11-06
文件语言
pdf - 1 MB
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文件

用户使用手册MP134

Q-522 Q-Motion小型线性平台,压电惯性驱动器
版本/日期
2015-02-24
版本/日期
2015-02-24
文件语言
pdf - 2 MB
pdf - 2 MB

简单说明MP139EK

Q-5xx、Q-6xx PIShift平台
版本/日期
3.1.0 2018-06-19
pdf - 696 KB

3D模型

Q-522 3-D模型

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Q-522.000
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为6.5毫米,不带用于开环操作的位置传感器,推/拉力为1牛,尺寸为22 × 22 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-522.00U
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为6.5毫米,不带用于开环操作的位置传感器,推/拉力为1牛,尺寸为22 × 22 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-522.030
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为6.5毫米,线性编码器,分辨率为4纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32 × 22 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-522.040
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为6.5毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32 × 22 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-522.04U
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为6.5毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32 × 22 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-522.100
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为13毫米,不带用于开环操作的位置传感器,推/拉力为1牛,尺寸为22 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-522.10U
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为13毫米,不带用于开环操作的位置传感器,推/拉力为1牛,尺寸为22 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-522.130
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为13毫米,线性编码器,分辨率为4纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-522.140
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为13毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-522.14U
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为13毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32 × 32 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-522.200
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为26毫米,不带用于开环操作的位置传感器,推/拉力为1牛,尺寸为22 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-522.20U
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为26毫米,不带用于开环操作的位置传感器,推/拉力为1牛,尺寸为22 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕
Q-522.230
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为26毫米,线性编码器,分辨率为4纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-522.240
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为26毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-522.24U
Q-Motion® 小型线性平台,压电惯性驱动,行程为26毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为1牛,尺寸为32 × 42 × 10毫米(W × L × H),真空兼容至10-9 百帕

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