Q-545 Q‑Motion®精密线性平台

压电电机可实现高力和小巧设计

Q-545 Q‑Motion®精密线性平台
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  • 宽度仅为45毫米
  • 推/拉力为7牛
  • 带位置分辨率的增量传感器
  • 不带接装板的XY组合可供选择
  • 真空兼容至10-6百帕

压电惯性驱动器

压电陶瓷惯性驱动器为空间节约型且价格实惠的基于压电陶瓷的驱动器,其保持力相对较大,行程几乎是无限的。惯性驱动原理是基于由特殊驱动器电控提供的修正锯齿波电压控制的单个压电促动器。促动器缓慢膨胀,移动转子。由于其惯性,转子无法跟上促动器随后的快速收缩,停留在其位置上。工作频率高达20千赫兹时,驱动直接作用在动轮上,实现最大为6毫米/秒的速度。

直接测量原理

线性平台配备非接触式测量光学线性编码器和参考点开关。分辨率为1纳米。

真空和无磁性环境

所有Q‑Motion®线性平台都适用于高真空中的操作,真空可达10-6 百帕。可按需提供无磁性版本。

应用领域

微装配, 光子, 光学对准, 显微镜, 高能束线设备, 半导体技术, 测试

规格

数据表

数据表Q-545

版本/日期
2019-10-09
版本/日期
2019-10-09
版本/日期
2019-08-02
文件语言
pdf - 714 KB
pdf - 721 KB
pdf - 969 KB

下载

产品注解

产品注解

Product Change Notification Q-xxx; N-765

版本/日期
2019-03-26
文件语言 English
pdf - 435 KB

数据表

数据表

数据表Q-545

版本/日期
2019-10-09
版本/日期
2019-10-09
版本/日期
2019-08-02
文件语言
pdf - 714 KB
pdf - 721 KB
pdf - 969 KB

文件

文件

简单说明MP139EK

Q-Motion®定位器:Q-5xx、Q-6xx
版本/日期
4.1.0 2019/07
pdf - 1 MB
文件

用户使用手册MP135

Q-545线性平台,压电惯性驱动器
版本/日期
1.1.1 2019-07-17
版本/日期
1.1.1 2019-07-17
文件语言
pdf - 2 MB
pdf - 2 MB

3D模型

3D模型

Q-545 3-D模型

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Q-545.140
Q-Motion® 线性平台,压电惯性驱动,行程为13毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为7牛,尺寸为45 × 48 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕
Q-545.240
Q-Motion® 线性平台,压电惯性驱动,行程为26毫米,线性编码器,分辨率为1纳米,推/拉力为7牛,尺寸为45 × 63 × 15毫米(W × L × H),真空兼容至10-6 百帕

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