U-521 PILine线性平台

配备超声压电电机的紧凑型线性平台

  • 快速精密定位小型负载:速度达200mm/s;最小位移0.3µm
  • 节省空间:宽仅35mm、高仅15mm
  • 关机自锁:节能,并减少发热
  • 静音
  • 可应要求提供定制版本
U-521 PILine线性平台
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精密级线性定位平台

PILine平台尤其适合要求快速精密定位的应用。 关机后,自锁驱动器保持平台位置的机械稳定。 能耗和发热量因此大幅降低。 对于低占空比应用,尤其是电池供电或对温升敏感的场景,这些特性优势更为明显。 轴的位置由编码器测量,配合光学参考开关,可实现可靠的重复定位运动。 压电电机的驱动原理及其电气操作方案成本较低,并支持按需定制。

PILine超声压电电机

PILine超声压电电机的关键部件为压电促动器,通过耦合元件对可移动、带导向的滑块施加预紧力。 在100–200kHz的高频交流电压的作用下,压电陶瓷促动器产生超声波谐振。 促动器的形变使耦合元件相对滑块产生周期性的对角运动。 每个周期形成的进给量仅为数纳米;高频带来高速度。 对压电陶瓷促动器进行预紧,可使驱动器在静止和关机状态下实现自锁。

增量直线光栅尺用于高精度位置测量

非接触式光学编码器以高精度直接测量平台的位置。 非线性效应、机械间隙或弹性形变不会对测量造成影响。

应用领域

显微操作、自动化、生物技术、样品处理、样本定位;适用于空间受限场合;(可选)支持真空应用,最低达10-6hPa。

规格

数据表

数据表U-521

版本/日期
2026-03-17
pdf - 531 KB
版本/日期
2026-03-17
pdf - 534 KB
版本/日期
2026-03-17
pdf - 851 KB

下载

数据表

数据表

数据表U-521

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2026-03-17
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2026-03-17
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2026-03-17
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文件

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简单说明MP121EK

PILine定位器:M-66x、M-68x、U-521、U-62x、U-651、U-7xx

版本/日期
6.0.0 03/2024
pdf - 959 KB
版本/日期
6.0.0 03/2024
pdf - 995 KB
文件

用户使用手册MP138

U-521线性定位平台

版本/日期
2.0.0 2024-07-24
pdf - 2 MB
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2.0.0 2024-07-24
pdf - 2 MB

3D模型

3D模型

U-521 3D模型

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U-521.23

PILine线性平台;PILine压电电机,性能等级1;行程18mm;有效载荷2N;最大速度200mm/s;增量直线光栅尺,传感器分辨率400nm;电缆长度1.5m

U-521.23V

PILine线性平台;PILine压电电机,性能等级1;行程18mm;有效载荷2N;最大速度200mm/s;增量直线光栅尺,传感器分辨率400nm;真空兼容至10⁻⁶hPa;电缆长度1m

U-521.24

PILine线性平台;PILine压电电机,性能等级1;行程18mm;有效载荷2N;最大速度200mm/s;增量直线光栅尺,传感器分辨率100nm;电缆长度1.5m

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