V-572 Z 垂直超高精度纳米定位直驱线性平台

产品概述

V-572.Z垂直位移台是高精度Z向位移台，专为严苛的自动化与定位应用而设计，兼具高精度、长寿命及可靠的运行能力。 得益于用户可调的磁性平衡装置，这些垂直升降平台针对垂直方向进行了优化，在降低电机电流的同时，提升了动态性能与效率。

尽管机身紧凑，V-572纳米定位Z向位移台在行程精度、直线度及平面度方面仍优于许多更大尺寸的电动升降平台。 强劲的无齿槽直驱直线电机确保了平稳的运动和高重复定位精度，使V-572系列适合在生产环境中连续运行。

绝对光栅尺选件提供1nm的分辨率，并实现了安全、高效的启动，无需回零或初始化。 超高精度交叉滚柱轴承确保了垂直位移台在整个使用寿命期间保持高刚性，并降低维护需求。

V-572定位平台系列还包含用于水平安装的线性平台，行程可达100mm。 这些平台可组合成XY和XYZ定位系统，以满足高精度运动应用需求。 所有V-572平台均兼容PI的标准A-8xx电控器件。

三相电机，动态性能更高，且运行无摩擦、免维护

V-572平台系列采用三相直线电机驱动，推力直接、无摩擦传递至运动平台。 因此可避免动力传动系统中齿轮、丝杠等机械部件常见的齿隙与间隙问题。 适合高速、高加速度应用，电机结构无摩擦、免维护，可从容应对24/7全天候运行，寿命更长。 控制器支持电流限幅设置，便于快速禁用电机，降低平台及设备端的损伤风险。

交叉滚柱轴承提升承载能力、精度与使用寿命

其在运行平稳性、直线度与平面度方面表现颇佳，性能接近空气轴承。 通过以线接触替代滚珠轴承的点接触，滚子刚性显著提高，所需预紧力更小。 摩擦随之降低，使运行更平稳，噪音更低，精度更高。 交叉滚柱轴承还可承受更高的垂直载荷与力矩载荷。 防蠕动机构可抑制滚子漂移，进一步提高可靠性。 使用无尘室润滑脂，实现低维护运行。

增量和绝对光栅尺选配件

V-572平台配备直线光栅尺，直接在运动平台上以高精度测量位置，从而提升线性度，并能避免间接测量方法可能导致的机械间隙和弹性变形。 增量光栅尺基于1Vpp正弦/余弦信号，需要归零信号以进行初始化。 相比之下，绝对直线光栅尺可提供明确的位置信息，无需归零即可直接确定当前位置。 上电时无需执行回零操作，提升了运行效率与安全性。

选择合适的精密线性平台与运动控制器

在半导体检测、激光微加工、计量学及对准等高精度运动应用中，选择合适的线性平台是充分实现系统性能的关键。 选型时，需重点考量分辨率、导向精度及重复精度等指标。 V-572线性平台系列具备良好的轨迹精度（平面度、直线度、俯仰角和偏转角），以及±80纳米的双向重复定位精度。 这些高速精密电动平台具有高动态性能，包括1g加速度和500mm/s速度，适合精密器件量产中所需的高精度自动化定位任务。

配置PIA-8xx系列运动控制器，这些平台可实现良好的运动性能。 PI基于EtherCAT的控制器具备高灵活性，便于无缝集成各类兼容EtherCAT的第三方设备。 A-8xx系列运动控制器采用PILOT等先进算法，可在降低电机电流的同时实现更高动态性能，相当于提升了电机的力常数。 选择V-572，为您的运动控制应用带来准确、可靠而高效的体验。

附件和可选配件

• 光栅尺类型–1V_pp正弦/余弦或BiSS绝对值输出
• 单轴或多轴，ACS运动控制器与伺服驱动器，集成式或分布式
• 电缆适配A-8xx系列基于ACS技术的控制器
• 多轴XY及XYZ位移台组合
• 花岗岩支撑底座

应用领域

样品检测。 精密微装配。 研究。 生物技术。 半导体测试与检测。 计量。 通用自动化。 设备组装。 激光微加工。 拾放作业。 光学、微机械和光子学组件的对准。