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极其精确和可靠的定位。用于在高负载时进行平稳馈通的交叉滚柱导轨。应力消除铝基座可实现高稳定性。带直流电机和两相步进电机的驱动器变型。非接触式限位开关
电机轴上带集成式旋转编码器(带直流电机的变型)。
集成线性编码器。运动平台的直接位置测量,动力传动系统中的机械游隙或滞后对定位精度无影响
工业和科研,如半导体检验、光纤对准。
6635911030 |
6635921030 |
66359x1230 |
单位 |
公差 |
|
---|---|---|---|---|---|
带直流电机和旋转编码器的Z向位移台 |
带步进电机的Z向位移台 |
也带线性编码器(直接位置测量) |
|||
主动轴 |
Z |
Z |
Z |
||
运动和定位 |
|||||
行程 |
13 |
13 |
毫米 |
||
集成传感器 |
旋转编码器 |
线性编码器 |
|||
传感器分辨率 旋转编码器 |
5000 |
步/圈 |
|||
设计分辨率 |
0.0134 |
1.34(全步) |
0.05 |
微米 |
典型值 |
最小位移 |
0.5 |
0.5 |
0.1 |
微米 |
|
单向重复精度 |
0.5 |
0.5 |
0.1 |
微米 |
|
空回 |
2 |
2 |
微米 |
||
双向重复性 |
3 |
3 |
±0.1 |
微米 |
|
串扰,角度误差xry(螺距) |
±100 |
±100 |
微弧度 |
||
串扰,角度误差xrz(偏转角) |
±100 |
±100 |
微弧度 |
||
速度 |
6 |
6 |
毫米/秒 |
最大 |
|
机械特性 |
|||||
负载容量 |
200 |
200 |
牛 |
最大 |
|
保持力 |
30 |
60 |
牛 |
最大 |
|
驱动特性 |
|||||
电机类型 |
直流电机 |
两相步进电机 |
|||
工作电压 |
0至±12 |
伏 |
|||
电机功率 |
17 |
瓦 |
|||
限位开关 |
光学 |
光学 |
|||
其他 |
|||||
工作温度范围 |
-20 到 50 |
-20 到 50 |
°C |
||
材料 |
铝,阳极氧化致黑 |
铝,阳极氧化致黑 |
|||
推荐控制器/驱动器 |
C-863(单通道) |
SMC Hydra(双通道) C-663(单通道) |
SMC Hydra(双通道) |
Connecting cables for motor and sensor are not in the scope of delivery and must be ordered separately.
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