P-612.ZSL
压电陶瓷Z向位移台:行程100µm;SGS,间接位置测量;LEMO接头;电缆长度1.5m
| 运动 | P-612.ZSL | 公差 |
|---|---|---|
| 主动轴 | Z | |
| Z向的行程 | 100 µm | |
| Z向的开环行程,电压-20至120V | 110 µm | +20 % / -0 % |
| Z向的线性误差 | 0.2 % | typ. |
| X向上的直线度误差 | ± 20 nm | typ. |
| Y向上的直线度误差 | ± 20 nm | typ. |
| 绕X的角度误差 | ± 10 µrad | typ. |
| 绕Y的角度误差 | ± 10 µrad | typ. |
| 定位 | P-612.ZSL | 公差 |
| Z向的单向重复精度 | ± 4 nm | typ. |
| Z向的开环分辨率 | 0.2 nm | typ. |
| 集成传感器 | 应变片传感器,间接位置测量 | |
| Z向的系统分辨率 | 1.5 nm | |
| 驱动性能 | P-612.ZSL | 公差 |
| 驱动类型 | PICMA | |
| Z向的电容 | 3 µF | ±20 % |
| 机械性能 | P-612.ZSL | 公差 |
| Z向的刚性 | 0.63 N/µm | ±20 % |
| Z向的谐振频率,空载 | 490 Hz | ±20 % |
| 在30g负载下Z向的谐振频率 | 420 Hz | ±20 % |
| Z向的允许推力 | 15 N | max. |
| Z向的允许拉力 | 10 N | max. |
| 导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | |
| 总质量 | 280 g | ±5 % |
| 材料 | 铝 | |
| 其他 | P-612.ZSL | 公差 |
| 工作温度范围 | -20至80 °C | |
| 接头 | LEMO FFS.00.250.CTCE24 | |
| 传感器连接器 | LEMO FFA.0S.304.CLAC32 | |
| 电缆长度 | 1.5 m | ±10 mm |
| 推荐控制器/驱动器 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-665 |
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明,所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值,并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中,我们只检测选定的属性,而不是全部属性。请注意,产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。