P-612.Z 压电Z向位移台
带孔径的紧凑型纳米定位器
- 行程100微米
- 分辨率达0.2纳米
- 线性误差 0.2 %
- 结构紧凑:表面60毫米×60毫米
- 极其经济实惠的系统(机械部件和控制器)
- 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
- PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
P-612.Z 压电Z向位移台
产品描述
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规格
规格
P-612.ZSL | P-612.Z0L | 单位 | 公差 | |
---|---|---|---|---|
主动轴 | Z | Z | ||
运动和定位 | ||||
集成传感器 | 应变片传感器 | - | ||
-20至+120伏时的开环行程 | 110 | 110 | 微米 | +20 % / -0 % |
行程,闭环 | 100 | - | 微米 | |
分辨率,开环 | 0.2 | 0.2 | 纳米 | 典型值 |
分辨率,闭环 | 1.5 | - | 纳米 | 典型值 |
线性误差,闭环 | 0.2 | - | % | 典型值 |
重复精度 | ±4 | - | 纳米 | 典型值 |
倾斜θX、θY | ±10 | ±10 | 微弧度 | 典型值 |
X、Y向上的串扰 | ±20 | ±20 | 微米 | 典型值 |
机械特性 | ||||
运动方向上的刚性 | 0.63 | 0.63 | 牛/微米 | ±20 % |
谐振频率,空载 | 490 | 490 | 赫兹 | ±20 % |
带负载时的谐振频率 | 420 (30 克) | 420 (30 克) | 赫兹 | ±20 % |
负载容量 | 15 / 10 | 15 / 10 | 牛 | 最大 |
驱动特性 | ||||
陶瓷类型 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | ||
电容 | 3 | 3 | 微法 | ±20 % |
其他 | ||||
工作温度范围 | -20 到 80 | -20 到 80 | °C | |
材料 | 铝 | 铝 | ||
质量 | 0.28 | 0.275 | 千克 | ±5 % |
电缆长度 | 1.5 | 1.5 | 米 | ±10 毫米 |
传感器/电压连接 | LEMO | LEMO(无传感器) | ||
推荐电控 | E-610、E-621、E-625、E-665 | E-610、E-621、E-625、E-665 |
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
所有规格参数基于室温(22°C±3°C)。
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产品注解
产品注解
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
版本/日期
2021-04-19
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3D模型
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3-D模型P-612.xxL
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P-612.Z0L
垂直纳米定位平台,110微米,孔径为20毫米×20毫米,开环
P-612.ZSL
垂直纳米定位平台,100微米,孔径为20毫米×20毫米,应变片传感器