P-620.1 – P-629.1 PIHera压电陶瓷线性精密定位器

多种行程范围和轴配置

P-620.1 – P-629.1 PIHera压电陶瓷线性精密定位器
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应用领域

  • 干涉测量
  • 显微镜
  • 纳米定位
  • 生物技术
  • 测试应用
  • 半导体技术
  • 光子
  • 光纤定位

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

规格

Datasheet P-620.1 – P-629.1

版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-04-13
版本/日期
2018-06-06
版本/日期
2018-06-08
文件语言
pdf - 801 KB
pdf - 995 KB
pdf - 891 KB
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数据表

Datasheet P-620.1 – P-629.1

版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-04-13
版本/日期
2018-06-06
版本/日期
2018-06-08
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文件

用户使用手册PZ234

具有电容传感器的P-620、P-621、P-622、P-625、P-628、P-629 PIHera压电陶瓷平台
版本/日期
1.1.0 2018-08-07
版本/日期
1.1.0 2018-08-07
文件语言
pdf - 3 MB
pdf - 3 MB

简短说明PZ240

P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
版本/日期
5.0.0
pdf - 908 KB

3D模型

P-62x.1 STEP

版本/日期
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成功案例:光学3D表面测量技术

由于压电陶瓷技术和共焦技术,精确轮廓再现最精细的结构。作者:Gernot Hamann
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文件语言
pdf - 709 KB
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不带位置传感器的线性定位器

线性定位器,真空兼容达10-9百帕

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