P-620.1 – P-629.1 PIHera压电陶瓷线性平台

多种行程范围和轴配置

P-620.1 – P-629.1 PIHera压电陶瓷线性平台
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参考类别线性定位器

无摩擦、免维护、无磨损零部件带来的超高可靠性。真空兼容型可达10-9 百帕

 

集成式杠杆/导向模块可实现多种轴配置的灵活设置

用于精密导向的无摩擦柔性铰链导向设计与实现大行程的杠杆放大相结合。由全瓷绝缘PICMA促动器驱动,具有超长使用寿命

 

带电容传感器的直接位置计量

无接触式测量法(直接测量)。无摩擦亚纳米级分辨率。极佳的线性度。达10千赫兹的高带宽

 

应用领域

科研和工业。真空环境达10-9 百帕

规格

Datasheet P-620.1 – P-629.1

版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-04-13
文件语言
pdf - 801 KB
pdf - 995 KB

下载

数据表

Datasheet P-620.1 – P-629.1

版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-04-13
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pdf - 801 KB
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文件

用户使用手册PZ234

具有电容传感器的P-620、P-621、P-622、P-625、P-628、P-629 PIHera压电陶瓷平台
版本/日期
2014-07-15
版本/日期
2014-07-15
文件语言
pdf - 1,015 KB
pdf - 1 MB

简短说明PZ240EKDK

P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
版本/日期
4.0.0 2017-02-06
pdf - 635 KB

3D模型

P-62x.1 STEP

版本/日期
---
zip - 954 KB

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成功案例:光学3D表面测量技术

由于压电陶瓷技术和共焦技术,精确轮廓再现最精细的结构。作者:Gernot Hamann
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文件语言
pdf - 709 KB
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PIHera不带位置传感器的线性定位器

PIHera线性定位器、真空兼容达10 百帕

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